name: Атомно-слоевое осаждение металлических и многокомпонентных диэлектрических слоев для микроэлектронных структур
keyword_list: проводящие наноструктуры многокомпонентные оксиды микроэлектроника нанопокрытия Атомно-слоевое осаждение
abstract: Разработаны научно-обоснованные технологические решения по атомно-слоевому осаждению (АСО) диэлектриков на основе многокомпонентных оксидов переходных металлов и продемонстрирована возможность с помощью АСО в одном материале (системы HfxAl1-xOy, HfxAlyTi1-x-yOz), объединить достоинства и нивелировать недостатки каждого из отдельных оксидов, а в случае Hf0.5Zr0.5Oy, La:HfO2, La:Hf0.5Zr0.5Oy систем стабилизировать в них метастабильную нецентросимметричную фазу и таким образом получать новый материал- сегнетоэлектрик на основе оксида гафния. Расcмотрены подходы по получению с помощью АСО наноразмерных слоев проводящих материалов (Ru, TiN).
chairman_dissertation_council.name: Анатолий
chairman_dissertation_council.surname: Малыгин
chairman_dissertation_council.patronymic: Алексеевич
chairman_dissertation_council.position: Заведующий кафедрой
chairman_dissertation_council.degree: Доктор химических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: F-3350-2013
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 7103110938
chairman_dissertation_council.rinc_id: 44744
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0002-1818-7761
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Андрей
organization_supervisor.surname: Шевчик
organization_supervisor.patronymic: Павлович
organization_supervisor.position: врио ректора
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.13.07
rubrics.name: Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
oecds.code: 01.04.EA
oecds.name: CHEMISTRY, ANALYTICAL
speciality_codes.name: Химия твердого тела
speciality_codes.code: 02.00.21
supervisors.fio: Малыгин А.А.
supervisors.scientific_degree: Доктор химических наук
supervisors.speciality_code: Химия и физика поверхности
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Жуков А.Е.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Лучинин В.В.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Мурин И.В.
opponents.scientific_degree: Доктор химических наук
opponents.speciality_code: Неорганическая химия
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет), СПбГТИ(ТУ)
protection_organization.name: федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)"
protection_organization.ogrn: 1027810258761
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: МФТИ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
author_organization.ogrn: 1027739386135
author_organization.supervisor_name: НИКОЛАЙ
author_organization.supervisor_surname: КУДРЯВЦЕВ
author_organization.supervisor_patronymic: НИКОЛАЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения