name: Травление планарных структур «алмаз-металл» и «алмаз-диэлектрик» высокочастотным газовым разрядом низкого давления
keyword_list: Микротехнология Шероховатость Ионное распыление Селективное травление Реактивное ионное травление Плазменная обработка Синтетический алмаз
abstract: В работе исследованы процессы взаимодействия плазмы высокочастотного емкостного газового разряда низкого давления с поверхностью алмаза. Определен механизм реактивного ионного травления алмаза и коэффициент ионного распыления в плазме на основе SF6.
  Исследовано влияние параметров газового разряда на скорость и анизотропию травления алмаза.
  Впервые измерены селективности травления металлов и диэлектриков к алмазу в плазме на основе SF6. Разработана модель разрушения защитных масок под действием ионного распыления в плазме.
  Предложены методики формирования алмазных трехмерных структур при помощи селективного плазменного травления. Продемонстрированы примеры развитой поверхности, трехмерных мезаструктур, твердых иммерсионных линз из синтетического алмаза.
  Исследовано влияние реактивного ионного травления на шероховатость алмазной поверхности.
  Исследовано влияние газового состава плазмы на эффект микромаскинга при плазменном травлении алмаза.
chairman_dissertation_council.name: Михаил
chairman_dissertation_council.surname: Ковальчук
chairman_dissertation_council.patronymic: Валентинович
chairman_dissertation_council.position: Президент
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Член-корреспондент РАН
chairman_dissertation_council.wos_research_id: -
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 7003825275
chairman_dissertation_council.rinc_id: 2225
chairman_dissertation_council.url: http://www.nrcki.ru/
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Илья
organization_supervisor.surname: Еремин
organization_supervisor.patronymic: Игоревич
organization_supervisor.position: Главный ученый секретарь
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.13.33
rubrics.name: Электронно-ионноплазменные технологии электронного производства
rubrics.code: 31.15.30
rubrics.name: Радиационная химия. Плазмохимия
rubrics.code: 29.27.51
rubrics.name: Применение плазмы
rubrics.code: 29.19.31
rubrics.name: Полупроводники
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
oecds.code: 01.03.UF
oecds.name: PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
speciality_codes.name: Физика конденсированного состояния
speciality_codes.code: 01.04.07
supervisors.fio: Буга С.Г.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика конденсированного состояния
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Образцов А.Н.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Ворона Н.А.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика плазмы
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: НИЦ "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ"
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ"
protection_organization.ogrn: 1027739576006
protection_organization.supervisor_name: АЛЕКСАНДР
protection_organization.supervisor_surname: БЛАГОВ
protection_organization.supervisor_patronymic: ЕВГЕНЬЕВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Правительство Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ФГБНУ ТИСНУМ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ НАУЧНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ СВЕРХТВЕРДЫХ И НОВЫХ УГЛЕРОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ"
author_organization.ogrn: 1025006036439
author_organization.supervisor_name: СЕРГЕЙ
author_organization.supervisor_surname: ТЕРЕНТЬЕВ
author_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения