name: Физико-технологические особенности формирования омических контактов для оптоэлектронных приборов на основе GaN
keyword_list: вольт-амперная характеристика напыление термическая обработка морфология поверхности сопротивление светодиод Омические контакты
abstract: Работа посвящена решению проблемы снижения последовательного электрического сопротивления, а также увеличению коэффициента пропускания прозрачных проводящих контактов для светоизлучающих диодов на основе GaN. Проведена оптимизация технологических процессов, предложен новый тестовый модуль для измерения удельного переходного сопротивления контактов, определён состав и методика нанесения контактных систем. Обнаружен эффект направленного изменения поверхностного сопротивления прозрачных проводящих контактов в зависимости от газовой атмосферы при термической обработке. Разработана многослойная металлизация к n-GaN со значением удельного переходного сопротивления менее 0.3 Ом*мм. Получен прозрачный проводящий контакт на основе пленки ITO с коэффициентом пропускания более 90% в заданном диапазоне длин волн.
chairman_dissertation_council.name: Вячеслав
chairman_dissertation_council.surname: Барбашов
chairman_dissertation_council.patronymic: Михайлович
chairman_dissertation_council.position: Профессор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: 0
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 0
chairman_dissertation_council.rinc_id: 269030
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0001-7136-415X
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Николай
organization_supervisor.surname: Каргин
organization_supervisor.patronymic: Иванович
organization_supervisor.position: Проректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.09.29
rubrics.name: Полупроводниковые материалы
rubrics.code: 47.33.33
rubrics.name: Оптоэлектронные приборы
oecds.code: 02.10.NS
oecds.name: NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
oecds.code: 02.05.QG
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
speciality_codes.name: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
speciality_codes.code: 05.27.01
supervisors.fio: Каргин Н.И.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Физическая химия
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Селезнев Б.И.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Козырев Е.Н.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Организация производства (по отраслям)
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Павлов А.Ю.
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Системы автоматизации проектирования (по отраслям)
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: НИЯУ МИФИ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЯДЕРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИФИ"
protection_organization.ogrn: 1037739366477
protection_organization.supervisor_name: МИХАИЛ
protection_organization.supervisor_surname: СТРИХАНОВ
protection_organization.supervisor_patronymic: НИКОЛАЕВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: НИЯУ МИФИ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЯДЕРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИФИ"
author_organization.ogrn: 1037739366477
author_organization.supervisor_name: МИХАИЛ
author_organization.supervisor_surname: СТРИХАНОВ
author_organization.supervisor_patronymic: НИКОЛАЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения