name: РАЗРАБОТКА ОСНОВ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ АНИЗОТРОПНЫХ ПЛЕНОК BaFe12O19 С ВЫСОКОЙ СТЕПЕНЬЮ 
  КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКОЙ ТЕКСТУРЫ
keyword_list: вакуумное напыление ионно-лучевое нанесение магнитная анизотропия кристаллографическая текстура тонкие пленки гексаферрит бария
abstract: Работа посвящена синтезу анизотропных пленок феррита бария методом ионно-лучевого нанесения. Такие пленки могут быть использованы в устройствах спинтроники, технологии магнитной памяти с высокой плотностью записи и планарных СВЧ-устройствах с эффектом самосмещения. В работе описано довольно большое число экспериментов по синтезу и исследованию пленок BaFe12O19, которые можно разделить на две группы. Первое направление связано с получением гексаферритовых пленок на относительно недорогих кремниевых подложках. Сущность экспериментов заключается в поиске подходящего барьерного слоя, который способен препятствовать взаимной диффузии материалов пленки и подложки при высоких температурах, необходимых для синтеза. Особый интерес представляет продемонстрированная возможность получения текстурированных ферритовых пленок на аморфных материалах. Второе направление исследования заключается в получении анизотропных пленок гексаферрита микронной толщины без приложения к подложке высоких температур непосредственно во время процесса нанесения. Обычно такие пленки получаются аморфными и после кристаллизационного отжига являются изотропными. В данной работе предложен особый режим напыления, заключающийся в периодическом прерывании процесса, что способствуют улучшению текстуры получаемых пленок.
chairman_dissertation_council.name: Сергей
chairman_dissertation_council.surname: Никулин
chairman_dissertation_council.patronymic: Анатольевич
chairman_dissertation_council.position: заведующий кафедрой материаловедения и физики прочности
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: А-4234-2014
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 7006115841
chairman_dissertation_council.rinc_id: 185445
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Марина
organization_supervisor.surname: Самошина
organization_supervisor.patronymic: Евгеньевна
organization_supervisor.position: начальник отдела ученых степеней, действующая по доверенности №295-04 от 10.11.21
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.09.35
rubrics.name: Магнитные материалы для радиоэлектроники
oecds.code: 02.05.QG
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
speciality_codes.name: Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники
speciality_codes.code: 2.2.3.
supervisors.fio: Исаев И.М.
supervisors.scientific_degree: Кандидат технических наук
supervisors.speciality_code: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
protection_organization.short_name: МИСиС, НИТУ "МИСиС"
protection_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
protection_organization.ogrn: 1027739439749
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: МИСиС, НИТУ "МИСиС"
author_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
author_organization.ogrn: 1027739439749
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения