name: Тонкие плёнки оксидов ванадия для электродинамических приложений
keyword_list: переход металл-диэлектрик переключаемые СВЧ устройства оксиды ванадия магнетронное распыление
abstract: Разработан метод синтеза, позволяющий получать поликристаллические тонкие (толщиной 100-200 нм) плёнки VO₂, обладающие высокой амплитудой (более 1000 раз) перехода металл-диэлектрик (отношением сопротивлений в диэлектрическом и металлическом состояниях) на неэпитаксиальных подложках из поликристаллического Al2O3 большой площади. Для синтеза тонких плёнок применяется высокочастотное магнетронное распыление мишени из металлического ванадия в кислородно-аргоновой газовой смеси. Синтезированные плёнки подвергаются отжигу при температуре 720°С в нейтральной атмосфере. Отжиг позволяет добиться изменения стехиометрии, получив плёнку, близкую по составу к VO₂, и осуществить рекристаллизацию плёнки, что на порядок увеличивает амплитуду перехода за счёт роста размеров кристаллитов и связанного с этим уменьшения внутренних напряжений в плёнке. Проведённые исследования структуры и фазового состава напыляемых плёнок при помощи сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния позволили определить оптимальные параметры синтеза: концентрацию кислорода в газовой смеси, расстояние мишень-подложка, электрическое смещение на подложке, температуру подложки при напылении, а также температуру и время фазообразующего отжига. Полученные плёнки использованы в качестве активного элемента при создании управляемой частотно-селективной поверхности для СВЧ диапазона.
chairman_dissertation_council.name: Андрей
chairman_dissertation_council.surname: Лагарьков
chairman_dissertation_council.patronymic: Николаевич
chairman_dissertation_council.position: Научный руководитель
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Академик
chairman_dissertation_council.wos_research_id: -
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 6701836354
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Константин
organization_supervisor.surname: Розанов
organization_supervisor.patronymic: Николаевич
organization_supervisor.position: Директор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 29.19.31
rubrics.name: Полупроводники
rubrics.code: 29.35.47
rubrics.name: Твердотельные приборы СВЧ-диапазона
oecds.code: 02.05.QG
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
oecds.code: 01.03.SY
oecds.name: OPTICS
oecds.code: 01.03.UH
oecds.name: PHYSICS, ATOMIC, MOLECULAR & CHEMICAL
oecds.code: 01.03.UB
oecds.name: PHYSICS, APPLIED
speciality_codes.name: Электрофизика, электрофизические установки
speciality_codes.code: 1.3.13.
supervisors.fio: Маклаков С.С.
supervisors.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Электрофизика, электрофизические установки
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Кауль А. Р.
opponents.scientific_degree: Доктор химических наук
opponents.speciality_code: Химия твердого тела
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Крит Б. Л.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Порошковая металлургия и композиционные материалы
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ИТПЭ РАН
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ТЕОРЕТИЧЕСКОЙ И ПРИКЛАДНОЙ ЭЛЕКТРОДИНАМИКИ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
protection_organization.ogrn: 1027739263441
protection_organization.supervisor_name: КОНСТАНТИН
protection_organization.supervisor_surname: РОЗАНОВ
protection_organization.supervisor_patronymic: НИКОЛАЕВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ИТПЭ РАН
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ТЕОРЕТИЧЕСКОЙ И ПРИКЛАДНОЙ ЭЛЕКТРОДИНАМИКИ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
author_organization.ogrn: 1027739263441
author_organization.supervisor_name: КОНСТАНТИН
author_organization.supervisor_surname: РОЗАНОВ
author_organization.supervisor_patronymic: НИКОЛАЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения