name: Разработка и исследование технологических основ создания кремний-углеродных пленок для сенсоров газов и электродов электрохимических конденсаторов.
keyword_list: кремний-углеродные пленки, сенсор, электрохимия, электрохимические конденсаторы, электрод
abstract: В работе исследованы свойства и методы получения кремний-углеродных пленок, в том числе и модифицированных атомами металлов, для целей функциональной электроники, а именно для создания электродов электрохимических конденсаторов и сенсоров газов с улучшенными характеристиками. Разработаны и исследованы технологические режимы осаждения кремний-углеродных пленок, в том числе и модифицированных атомами металлов, на подложки из кремния и поликора с проводящим слоем Cr-Cu. Установлены механизмы роста кремний-углеродных пленок. Разработан технологический маршрут изготовления сенсоров газов на основе кремний-углеродных пленок для топологий двух типов. Установлены закономерности проявления электрофизических и газочувствительных свойств экспериментальных образцов сенсоров газов на основе кремний-углеродных пленок, в том числе и модифицированных атомами металлов, в зависимости от топологии сенсора. Изготовлены электроды электрохимических конденсаторов на основе кремний-углеродных пленок, в том числе пленок, модифицированных марганцем и никелем и исследованы их характеристики.
chairman_dissertation_council.surname: Лысенко И.Е.
chairman_dissertation_council.position: Главный научный сотрудник Инжинирингового центра приборостроения, радио- и микроэлектроники
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
organization_supervisor.surname: Шевченко И. К.
organization_supervisor.position: Ректор
organization_supervisor.degree: Доктор экономических наук
rubrics.code: 45.09.35
rubrics.name: Полупроводниковые материалы
rubrics.code: 47.13.11
rubrics.name: Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
rubrics.code: 45.35.41
rubrics.name: Конденсаторные устройства
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
oecds.code: 02.05.QG
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
speciality_codes.name: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
speciality_codes.code: 05.27.06
supervisors.fio: Мясоедова Т.Н.
supervisors.scientific_degree: Кандидат технических наук
supervisors.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Симаков В.В.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Электрохимия
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Мараева Е.В.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: Южный федеральный университет,  ФГАОУ ВО "ЮФУ"
protection_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
protection_organization.ogrn: 1026103165241
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
protection_organization.okopf: Общества с ограниченной ответственностью
author_organization.short_name: Южный федеральный университет,  ФГАОУ ВО "ЮФУ"
author_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
author_organization.ogrn: 1026103165241
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
author_organization.okopf: Общества с ограниченной ответственностью