name: Полупроводниковые датчики давления для информационно-измерительных систем
keyword_list: тензорезистивный датчик давления полупроводниковый чувствительный элемент погрешность измерения микроэлектромеханическая система стабильность электрических параметров избыточность конструкции
abstract: Объект исследования: полупроводниковые датчики давления для информационно-измерительных систем (ИИС) изделий ракетно-космической техники. Цель: улучшение метрологических характеристик полупроводниковых датчиков давления для ИИС, включающих измерительные,  компенсирующие и регулирующие элементы в слое МЭМС-структуры. Методы исследования: теоретические исследования проводились с применением систем автоматизированного проектирования и инженерного анализа, метода конечных элементов, теории механики деформируемого тела. Научная новизна: 1. Математическая модель полупроводникового чувствительного элемента датчиков давления с квадратной мембраной и жестким центром, обеспечивающая улучшение метрологических характеристик датчиков давления; 2. Методика стабилизации и разбраковки на ранних стадиях изготовления полупроводникового чувствительного элемента датчиков давления; 3. Алгоритм определения рабочих тензорезисторов с минимальным разбросом температурных коэффициентов сопротивления и тензочувствительности; 4. Методика настройки разбаланса и температурного ухода начального выходного сигнала полупроводниковых датчиков давления; 5. Конструкция чувствительного элемента полупроводниковых датчиков давления с регулирующими, компенсирующими и регулирующими элементами в слое МЭМС-структуры. Результаты проведенных научных исследований использованы АО «НИИФИ» при выполнении НИОКР и в опытном производстве, что подтверждено актом внедрения.
chairman_dissertation_council.name: Борис
chairman_dissertation_council.surname: Чувыкин
chairman_dissertation_council.patronymic: Викторович
chairman_dissertation_council.position: профессор кафедры ИВС
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: А-5528-2016
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 6506337395
chairman_dissertation_council.rinc_id: 475034
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Александр
organization_supervisor.surname: Гуляков
organization_supervisor.patronymic: Дмитриевич
organization_supervisor.position: Ректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 59.14.19
rubrics.name: Проектирование и конструирование электрических, электромагнитных и электромеханических измерительных приборов
rubrics.code: 47.14.07
rubrics.name: Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
rubrics.code: 30.19.15
rubrics.name: Теория упругости
oecds.code: 02.03.AI
oecds.name: ENGINEERING, AEROSPACE
oecds.code: 02.03.IU
oecds.name: ENGINEERING, MECHANICAL
speciality_codes.name: Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)
speciality_codes.code: 05.11.16
supervisors.fio: Базыкин С.Н.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Орлов С.П.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Пушкарева А.В.
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ФГБОУ ВО "Пензенский государственный университет", Пензенский государственный университет, ФГБОУ ВО "ПГУ"
protection_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Пензенский государственный университет"
protection_organization.ogrn: 1025801440620
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ФГБОУ ВО "Пензенский государственный университет", Пензенский государственный университет, ФГБОУ ВО "ПГУ"
author_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Пензенский государственный университет"
author_organization.ogrn: 1025801440620
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения