name: Формирование и исследование пленок WSi для сверхпроводниковых однофотонных детекторов с повышенной эффективностью и площадью детектирования
keyword_list: Сверхпроводниковый однофотонный детектор Двухкомпонентные тонкие пленки WSi Магнетронное распыление из двух источников
abstract: В работе разработана и апробирована технология формирования методом магнетронного распыления из двух источников под углом 90° друг к другу пленок W0,8Si0,2 толщиной 6 нм с высокой температурой перехода в сверхпроводящее состояние 3,7 К. Разработана и экспериментально подтверждена модель расчета неравномерности пленок при магнетронном распылении из двух источников, расположенных под углом 90° друг к другу. Получены экспериментальные зависимости температуры перехода в сверхпроводящее состояние и поверхностного сопротивления пленок W0,8Si0,2 толщиной 6 нм от температуры подложки, потенциала смещения и значения пикового тока при импульсном распылении W. Разработана методика формирования двухкомпонентных ультратонких пленок методом магнетронного распыления из двух источников.
chairman_dissertation_council.name: Юрий
chairman_dissertation_council.surname: Панфилов
chairman_dissertation_council.patronymic: Васильевич
chairman_dissertation_council.position: заведующий кафедрой
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: 0
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 6603626285
chairman_dissertation_council.rinc_id: 104387
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Борис
organization_supervisor.surname: Коробец
organization_supervisor.patronymic: Николаевич
organization_supervisor.position: первый проректор-проректор по научной работе и стратегическому развитию
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.13.33
rubrics.name: Электронно-ионноплазменные технологии электронного производства
rubrics.code: 47.09.39
rubrics.name: Сверхпроводящие материалы
oecds.code: 02.05.QG
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
speciality_codes.name: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
speciality_codes.code: 05.27.06
supervisors.fio: Моисеев К.М.
supervisors.scientific_degree: Кандидат технических наук
supervisors.speciality_code: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Снигирев О.В.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Приборы и методы экспериментальной физики
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Лямин А.Н.
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: МГТУ ИМ. Н.Э. БАУМАНА
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ Н.Э. БАУМАНА (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
protection_organization.ogrn: 1027739051779
protection_organization.supervisor_name: АНАТОЛИЙ
protection_organization.supervisor_surname: АЛЕКСАНДРОВ
protection_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: МГТУ ИМ. Н.Э. БАУМАНА
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ Н.Э. БАУМАНА (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
author_organization.ogrn: 1027739051779
author_organization.supervisor_name: АНАТОЛИЙ
author_organization.supervisor_surname: АЛЕКСАНДРОВ
author_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения