name: Омические контакты на основе системы металлизации Mo/Al/Mo/Au к гетероструктурам AlGaN/GaN
keyword_list: ОМИЧЕСКИЙ   КОНТАКТ,  СИСТЕМА  МЕТАЛЛИЗАЦИИ MO/A1/MO/AU, ГЕТЕРОСТРУКТУРА ALGAN/GAN,  HEMT,  МЕТОД ДЛИННОЙ  ЛИНИИ  (TLM),  КОНТАКТНОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ
abstract: Проведено исследование омических контактов на основе системы металлизации Mo/Al/Mo/Au к гетероструктурам AlGaN/GaN, предназначенных для изготовления транзисторов с высокой подвижностью электронов. Приведены результаты работ по оптимизации технологии формирования омических контактов, исследованы особенности их формирования и механизм токопереноса в зависимости от температуры отжига контактов.
chairman_dissertation_council.surname: Никулин С.А.
chairman_dissertation_council.position: Заведующий кафедрой
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
organization_supervisor.surname: Филонов М.Р.
organization_supervisor.position: Проректор по науке и инновациям
organization_supervisor.degree: Доктор технических наук
rubrics.code: 29.19.31
rubrics.name: Полупроводники
rubrics.code: 29.19.16
rubrics.name: Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
rubrics.code: 47.13.11
rubrics.name: Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
oecds.code: 02.05.PM
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
speciality_codes.name: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
speciality_codes.code: 05.27.06
supervisors.fio: Диденко С.И.
supervisors.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика полупроводников
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: -
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: МИСиС, НИТУ "МИСиС"
protection_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
protection_organization.ogrn: 1027739439749
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: МИСиС, НИТУ "МИСиС"
author_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
author_organization.ogrn: 1027739439749
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения