name: Особенности физического распыления перспективных нанопористых материалов ионами инертных газов низкой энергии
keyword_list: физическое распыление, low-k диэлектрики, молекулярная динамика, наноструктурированные материалы
abstract: В настоящее время большой интерес для современной микроэлектроники вызывает изучение воздействия ионов низких энергий на нанопористые low-k диэлектрики, применяемые в качестве межслойных изоляторов при производстве сверхбольших интегральных схем. Основной целью данной диссертационной работы является исследование особенностей физического распыления нанопористых материалов ионами инертных газов низких энергий и структурных изменений, происходящих в таких материалах под действием ионов. В работе с использованием метода классической молекулярной динамики исследовано влияние типа и энергии налетающих частиц и особенностей структуры нанопористых материалов (в первую очередь пористости и радиуса пор) на процесс физического распыления данных материалов. Показано, что в области низких энергий воздействие ионов на нанопористые структуры может сопровождаться не только их физическим распылением, но и образованием сплошного приповерхностного слоя, появление которого препятствует проникновению активных радикалов плазмы вглубь материала. Представленные результаты могут быть использованы для создания методов повышения стойкости нанопористых low-k диэлектриков к воздействию плазмы, что может оптимизировать технологию бездефектного воздействия на них плазмы при производстве интегральных схем.
chairman_dissertation_council.surname: Рахимов А.Т.
chairman_dissertation_council.position: зав. отд. НИИЯФ МГУ
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
organization_supervisor.surname: Боос Э. Э..
organization_supervisor.position: И.о.директора НИИЯФ МГУ
organization_supervisor.degree: Доктор физико-математических наук
rubrics.code: 29.19.22
rubrics.name: Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
oecds.code: 01.03.UH
oecds.name: PHYSICS, ATOMIC, MOLECULAR & CHEMICAL
speciality_codes.name: Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика
speciality_codes.code: 01.04.15
supervisors.fio: Рахимов А.Т.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика плазмы
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Амиров И. И.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Александров Н. Л.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика плазмы
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ М.В.ЛОМОНОСОВА, МГУ ИМЕНИ М.В.ЛОМОНОСОВА, МГУ
protection_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова"
protection_organization.ogrn: 1037700258694
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ М.В.ЛОМОНОСОВА, МГУ ИМЕНИ М.В.ЛОМОНОСОВА, МГУ
author_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова"
author_organization.ogrn: 1037700258694
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Учреждения