name: Теоретическое и экспериментальное исследование пьезоэлектрического возбуждения МЭМС резонаторов
keyword_list: Резонатор пленки AlN МЭМС гироскоп
abstract: Диссертационная работа посвящена разработке чувствительных элементов для возбуждения амплитуды колебания пьезоэлектрического резонатора МЭМС гироскопов в режиме движения, а также для детектирования выходного сигнала в режиме чувствительности. В работе были исследованы два типа структур на основе пленок ЦТС и AlN. Пленки ЦТС толщиной до ~ 1,4 мкм, изготовленные методом химического осаждения из растворов на подложках Si/SiO2/TiO2/Pt позволяют создавать резонаторы микромеханических элементов, обеспечивающих необходимую амплитуду колебаний и технологичность процесса изготовления. Создание многослойных кремниевых структур с использованием пленок ЦТС получаемых золь-гель методом дает возможность изготавливать сложнофункциональные МЭМС устройства, такие как микромеханические гироскопы, акселерометры и другие микромеханические элементы. В работе была разработана методика создания колебательных элементов на основе использования пьезоэлектрических свойств относительно толстых пленок ЦТС (>1 мкм), сформированных золь-гель методом, для возбуждения кольцевого резонатора МЭМС гироскопа. Разработан метод формирования кантилеверных резонаторов на основе структуры Si/SiO2/TiO2/Pt/ЦТС. В процессе выполнения диссертационной работы показано, что пленка ЦТС является предпочтительным материалом для применения в пьезоэлектрических МЭМС резонаторах, так как перемещение ЦТС резонатора почти на три порядка больше по сравнению с AlN.
chairman_dissertation_council.name: Александр
chairman_dissertation_council.surname: Сигов
chairman_dissertation_council.patronymic: Сергеевич
chairman_dissertation_council.position: Президент РТУ МИРЭА
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Академик
chairman_dissertation_council.wos_research_id: U-2545-2019
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 35557510600
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Николай
organization_supervisor.surname: Прокопов
organization_supervisor.patronymic: Иванович
organization_supervisor.position: Первый проректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.09.33
rubrics.name: Сегнетоэлектрики и пьезоэлектрики
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
speciality_codes.name: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
speciality_codes.code: 05.27.01
supervisors.fio: Лукичев В.Ф.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Тимошенков С.П.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Тагаченков А.М.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика конденсированного состояния
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: РТУ МИРЭА
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МИРЭА - РОССИЙСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
protection_organization.ogrn: 1037739552740
protection_organization.supervisor_name: СТАНИСЛАВ
protection_organization.supervisor_surname: КУДЖ
protection_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСЕЕВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: РТУ МИРЭА
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МИРЭА - РОССИЙСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
author_organization.ogrn: 1037739552740
author_organization.supervisor_name: СТАНИСЛАВ
author_organization.supervisor_surname: КУДЖ
author_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСЕЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения