name: Комбинированная методика корпускулярной диагностики и оптической эмиссионной спектроскопии для определения ионных потоков из низкотемпературной плазмы
keyword_list: масс-анализ Спектроскопия Диагностика плазмы Плазма
abstract: Предложена новая методика измерения состава многокомпонентной низкотемпературной плазмы низкого давления и потоков заряженных частиц из нее, основанная на комбинации корпускулярного и оптического методов диагностики плазмы.
  Впервые, на примере ВЧИ разряда, продемонстрирована применимость комбинированной методики определения ионных потоков из многокомпонентной низкотемпературной плазмы по отношениям интенсивностей оптических линий соответствующих им элементов.
chairman_dissertation_council.name: Андрей
chairman_dissertation_council.surname: Кузнецов
chairman_dissertation_council.patronymic: Петрович
chairman_dissertation_council.position: Директор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Доцент
chairman_dissertation_council.wos_research_id: B-4739-2016
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 55387332700
chairman_dissertation_council.rinc_id: 42541
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0002-9875-805X
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Николай
organization_supervisor.surname: Каргин
organization_supervisor.patronymic: Иванович
organization_supervisor.position: Проректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 29.27.49
rubrics.name: Диагностика плазмы
oecds.code: 01.03.UF
oecds.name: PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
speciality_codes.name: Физика плазмы
speciality_codes.code: 01.04.08
supervisors.fio: Казиев А.В.
supervisors.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика плазмы
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Окс Е.М.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Метель А.С.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика плазмы
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Григорьев В.Ю.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика плазмы
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: НИЯУ МИФИ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЯДЕРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИФИ"
protection_organization.ogrn: 1037739366477
protection_organization.supervisor_name: ВЛАДИМИР
protection_organization.supervisor_surname: ШЕВЧЕНКО
protection_organization.supervisor_patronymic: ИГОРЕВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: НИЯУ МИФИ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЯДЕРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИФИ"
author_organization.ogrn: 1037739366477
author_organization.supervisor_name: ВЛАДИМИР
author_organization.supervisor_surname: ШЕВЧЕНКО
author_organization.supervisor_patronymic: ИГОРЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения