name: Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем
keyword_list: ПОКРЫТИЯ ВЫСОКОСКОРОСТНОЕ ОСАЖДЕНИЕ НИТРИД ХРОМА ГОРЯЧАЯ МИШЕНЬ РЕАКТИВНОЕ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
abstract: Описание работы, научная и практическая значимость
  Диссертационная работа Грудинина В. А. посвящена созданию метода высокоскоростного осаждения CrNx покрытий за счёт использования магнетронной распылительной системы с горячей хромовой мишенью, а также в выявлении закономерностей формирования их структурных и функциональных свойств.
  В рамках диссертационного исследования разработан и реализован в лабораторных условиях метод высокоскоростного осаждения CrNx покрытий, основанный на использовании магнетронной распылительной системы с горячей хромовой мишенью.  Установлено, что из-за сублимации горячей хромовой мишени, появляющейся дополнительно к распылению, скорость осаждения CrNx покрытий возрастает нелинейно с увеличением плотности мощности магнетрона, начиная с 18 Ватт на квадратный сантиметр. Установлены закономерности формирования элементного состава покрытий на основе соединений хрома и азота при работе магнетрона с горячей хромовой мишенью в зависимости от плотности мощности магнетрона, мощности радиочастотного плазменного генератора, напуска азота в камеру. Выявлены способы управления кристаллической и микроструктурой покрытий на основе соединений хрома и азота при работе магнетрона с горячей хромовой мишенью. Для широкого диапазона плотности мощности магнетронной распылительной системы определён набор рабочих параметров, при которых формируются CrNx покрытия с высокой скоростью осаждения, обладающие хорошими механическими и антикоррозионными свойствами.
  Практическая значимость работы состоит в том, что полученные результаты результаты могут быть использованы при разработке технологий высокоскоростного осаждения износостойких, коррозионностойких и декоративных покрытий на основе соединений хрома и азота.
  Вклад автора
  Личный вклад соискателя состоит в выполнении исследований, анализе полученных результатов и их интерпретации, написания статей, тезисов докладов и подготовке их к публикации.
  Организация, в которой выполнялась диссертация
  ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский Томский политехнический университет».
  Официальные оппоненты:
  Седельникова Мария Борисовна, д.т.н., ИФПМ СО РАН, н.с., г. Томск;
  Окс Ефим Михайлович, д.т.н., профессор, ТУСУР, г. Томск;
  Научный руководитель
  Блейхер Галина Алексеевна, д.ф.-м.н., доцент, ТПУ, профессор, г. Томск.
  Список основных публикаций автора
  1. V. A. Grudinin, G. A. Bleykher [et al.] // Surf. Coat. Tech. — 2022. — Vol. 433. — 128120. 
  2. V. A. Grudinin, G. A. Bleykher [et al.] // Vacuum. — 2022. — Vol. 200. — 111020.
  3. V. A. Grudinin, D. V. Sidelev [et al.] // Vacuum . — 2021. — Vol. 191. — 110400.
  4. V. A. Grudinin, G. A. Bleykher [et al.] // Surf. Coat. Tech. — 2019. — Vol. 375. — P. 352-362.
  5. D. V. Sidelev, V. A. Grudinin [et al.] // Surf. Coat. Tech. — 2018. — Vol. 334. — P. 61-70.
  6. G. A. Bleykher, V. A. Grudinin [et al.] // Surf. Coat. Tech. — 2018. — Vol. 354. — P. 161-168.
  7. D. V. Sidelev, V. A. Grudinin [et al.] // Surf. Coat. Tech. — 2018. — Vol. 350. — P. 560-568.
chairman_dissertation_council.name: Валерий
chairman_dissertation_council.surname: Кривобоков
chairman_dissertation_council.patronymic: Павлович
chairman_dissertation_council.position: Руководитель НОЦ Б.П. Вейнберга
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: AAD-6184-2019
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 6603439351
chairman_dissertation_council.rinc_id: 20307
chairman_dissertation_council.url: https://portal.tpu.ru/SHARED/k/KRIVOBOKOV
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0003-0569-3291
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Леонид
organization_supervisor.surname: Сухих
organization_supervisor.patronymic: Григорьевич
organization_supervisor.position: Проректор по науке и трансферу технологий
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.29.33
rubrics.name: Газоразрядные приборы и устройства
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Физика конденсированного состояния
speciality_codes.code: 1.3.8.
supervisors.fio: Блейхер Г. А.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика конденсированного состояния
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Окс Е.М.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Вакуумная и плазменная электроника
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Седельникова М.Б.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Технология силикатных и тугоплавких неметаллических материалов
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ФГАОУ ВО НИ ТПУ, ТПУ, НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ, ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
protection_organization.ogrn: 1027000890168
protection_organization.supervisor_name: ДМИТРИЙ
protection_organization.supervisor_surname: СЕДНЕВ
protection_organization.supervisor_patronymic: АНДРЕЕВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: ФГАОУ ВО НИ ТПУ, ТПУ, НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ, ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
author_organization.ogrn: 1027000890168
author_organization.supervisor_name: ДМИТРИЙ
author_organization.supervisor_surname: СЕДНЕВ
author_organization.supervisor_patronymic: АНДРЕЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения