name: Технологические основы формообразования чувствительного элемента из кварцевого стекла методом химического травления через текстурированное молибденовое покрытие
keyword_list: химическое травление, текстура роста, энергия адсорбции атомов, атомистическая теория нуклеации, кварцевое стекло, молибденовое покрытие
abstract: Выявлен ряд закономерностей формирования ориентированных пленок молибдена в процессе осаждения. Установлено, что независимо от уровня пересыщения в системе значительное количество кристаллитов молибдена, сформированных на начальной стадии, будет иметь ориентацию (110). Выявлено, что снижение количества точечных дефектов на поверхности стекла после химического травления наблюдается у молибденовых покрытий, характеризующихся текстурой роста (211). Повышение давления рабочего газа в диапазоне 0,39 - 0,74 Па снижает на 30 - 40% толщину пленки молибдена, при которой происходит смена текстуры (110) на текстуру (211). Разработана и реализована технология изготовления чувствительного элемента акселерометра. Определены технологические режимы осаждения текстурированной защитной молибденовой маски. Разработана методика оценки уровня пересыщения delta M для процесса магнетронного распыления. Выполнены расчеты энергии адсорбции молибдена на отрелаксированной и гидроксилированной модельной поверхности (001) a-кварца.
chairman_dissertation_council.surname: Рудакова Л.В.
chairman_dissertation_council.position: Заведующий кафедрой ООС
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
organization_supervisor.surname: Коротаев В. Н.
organization_supervisor.position: Проректор по науке и инновациям
organization_supervisor.degree: Доктор технических наук
rubrics.code: 61.31.51
rubrics.name: Остальные элементы, оксиды, минеральные кислоты, основания, соли
oecds.code: 01.04.DY
oecds.name: CHEMISTRY, MULTIDISCIPLINARY
oecds.code: 01.07.RO
oecds.name: MULTIDISCIPLINARY SCIENCES
speciality_codes.name: Технология неорганических веществ
speciality_codes.code: 05.17.01
supervisors.fio: Кетов А.А.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Технология неорганических веществ
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Яценко Е.А.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Технология силикатных и тугоплавких неметаллических материалов
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Кондрашова Н.Б.
opponents.scientific_degree: Кандидат химических наук
opponents.speciality_code: Неорганическая химия
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ПНИПУ, ФГБОУ ВО  "Пермский  национальный исследовательский политехнический  университет", ФГБОУ ВО "ПНИПУ"
protection_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет"
protection_organization.ogrn: 1025900513924
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ПНИПУ, ФГБОУ ВО  "Пермский  национальный исследовательский политехнический  университет", ФГБОУ ВО "ПНИПУ"
author_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет"
author_organization.ogrn: 1025900513924
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения