name: Методы и средства изготовления специализированных металлооксидных газовых сенсоров на основе технологии лазерной микрофрезеровки
keyword_list: газочувствительный электрод нагревательный электрод керамический SMD корпус лазерная микрофрезеровка металлооксидные газовые сенсоры
abstract: Целью диссертационной работы является создание усовершенствованных специализированных металлооксидных сенсоров для детектирования токсичных и горючих газов в SMD корпусе типоразмера SOT-23 с предельно низким энергопотреблением на основе Al2O3 и ZrO2 керамических материалов.
  Научная новизна диссертации заключается в создании усовершенствованных металлооксидных сенсоров для детектирования токсичных и горючих газов в форм-факторе SMD-корпуса с предельно низким энергопотреблением для газовых сенсоров на основе Al2O3 и ZrO2 керамических материалов посредством технологии лазерной микрофрезеровки.
chairman_dissertation_council.name: Вячеслав
chairman_dissertation_council.surname: Барбашов
chairman_dissertation_council.patronymic: Михайлович
chairman_dissertation_council.position: Профессор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: 0
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 0
chairman_dissertation_council.rinc_id: 269030
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0001-7136-415X
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Николай
organization_supervisor.surname: Каргин
organization_supervisor.patronymic: Иванович
organization_supervisor.position: И.О. Проректора
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 59.35.29
rubrics.name: Приборы для измерения состава и физико-химических свойств газов
rubrics.code: 47.13.13
rubrics.name: Технология и оборудование для производства радиодеталей и компонентов
rubrics.code: 47.13.35
rubrics.name: Лазерные технологии в электронном производстве
rubrics.code: 47.13.11
rubrics.name: Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
rubrics.code: 47.13.07
rubrics.name: Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
oecds.code: 02.11.IK
oecds.name: ENGINEERING, MANUFACTURING
oecds.code: 02.10.NS
oecds.name: NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
speciality_codes.name: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
speciality_codes.code: 05.27.01
supervisors.fio: Самотаев Н.Н.
supervisors.scientific_degree: Кандидат технических наук
supervisors.speciality_code: Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Малюков С.П.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Технология и машины лесозаготовок и лесного хозяйства
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Баранов А.М.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Суханов А.В.
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: НИЯУ МИФИ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЯДЕРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИФИ"
protection_organization.ogrn: 1037739366477
protection_organization.supervisor_name: ВЛАДИМИР
protection_organization.supervisor_surname: ШЕВЧЕНКО
protection_organization.supervisor_patronymic: ИГОРЕВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: НИЯУ МИФИ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЯДЕРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИФИ"
author_organization.ogrn: 1037739366477
author_organization.supervisor_name: ВЛАДИМИР
author_organization.supervisor_surname: ШЕВЧЕНКО
author_organization.supervisor_patronymic: ИГОРЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения