name: Метод синтеза базовых технологических процессов микроэлектромеханических систем на основе конструктивно-технологической онтологии
keyword_list: маршрутный технологический процесс микроэлектромеханические системы травление кремния травление стекла фотолитография онтология
abstract: В работе проведен комплексный конструктивно-технологический анализ современного уровня разработки МЭМС, включающий анализ технологий и групп операций МЭМС. Предложен принцип построения процессов разработки и изготовления изделий МЭМС на основе объединения базовых конструктивных элементов и базовых технологических процессов с использованием баз знаний с семантической структурой. Разработан метод синтеза базовых маршрутных технологических процессов изготовления МЭМС на основе конструктивно-технологической онтологии. Приведены результаты моделирования конструктивных элементов, а именно упругих и бистабильных элементов, а также электростатических и термических актуаторов МЭМС и ключевой технологической операции МЭМС – контактной фотолитография толстых слоев фоторезистов. Разработан и апробирован базовый процесс, синтезированный на основе онтологического подхода, пригодный для разнородных по принципу действия МЭМС изделий на кремниевых и стеклянных, в частности, электрических и оптических переключателей, инерциальных систем (гироскопов и акселерометров) и микрофлюидных «лабораторий-на-чипе». Базовый процесс изготовления был апробирован при изготовлении трех различных МЭМС устройств, среди которых: пассивные термические электрические переключатели; волоконно-оптические датчики вибрации и прецизионные микрофлюидные изделия.
chairman_dissertation_council.name: Юрий
chairman_dissertation_council.surname: Панфилов
chairman_dissertation_council.patronymic: Васильевич
chairman_dissertation_council.position: заведующий кафедрой
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: 0
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 6603626285
chairman_dissertation_council.rinc_id: 104387
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Борис
organization_supervisor.surname: Коробец
organization_supervisor.patronymic: Николаевич
organization_supervisor.position: первый проректор-проректор по научной работе и стратегическому развитию
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.13.07
rubrics.name: Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
rubrics.code: 47.13.12
rubrics.name: Технология и оборудование для производства приборов и устройств молекулярной электроники
oecds.code: 02.03.IU
oecds.name: ENGINEERING, MECHANICAL
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
speciality_codes.name: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
speciality_codes.code: 05.27.06
supervisors.fio: Цветков Ю.Б.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Панасюк В.Н.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Нестеренко Т.Г.
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Динамика, прочность машин, приборов и аппаратуры
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: МГТУ ИМ. Н.Э. БАУМАНА
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ Н.Э. БАУМАНА (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
protection_organization.ogrn: 1027739051779
protection_organization.supervisor_name: АНАТОЛИЙ
protection_organization.supervisor_surname: АЛЕКСАНДРОВ
protection_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: МГТУ ИМ. Н.Э. БАУМАНА
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ Н.Э. БАУМАНА (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
author_organization.ogrn: 1027739051779
author_organization.supervisor_name: АНАТОЛИЙ
author_organization.supervisor_surname: АЛЕКСАНДРОВ
author_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения