name: Светодиодный эллипсометр со статичной схемой измерения оптических констант и толщин тонких пленок
keyword_list: ТОНКИЕ ПЛЕНКИ СПЕКТРАЛЬНАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ ПОЛЯРИМЕТРИЯ
abstract: В работе предлагается решение важной научной задачи, которая заключается в разработке информационно-измерительной системы контроля оптических констант и толщин тонких пленок, реализующей модифицированный метод спектральной эллипсометрии со светодиодным широкодиапазонным источником излучения, обеспечивающей снижение погрешности и повышение воспроизводимости измерений эллипсометрических параметров с сопутствующим улучшением технико-экономических характеристик измерительной установки.Создана информационно-измерительная система определения оптических констант и толщин тонких пленок, использующая статическую схему эллипсометрических измерений со светодиодным источником излучения, отличающаяся отсутствием подвижных поляризационных элементов;  представлены методические рекомендации для расчета светодиодного источника излучения с целевым спектральным распределением, позволяющего формировать плоский спектральный профиль широкодиапазонных светодиодных источников.
chairman_dissertation_council.name: ВЛАДИМИР
chairman_dissertation_council.surname: КРУТИКОВ
chairman_dissertation_council.patronymic: НИКОЛАЕВИЧ
chairman_dissertation_council.position: ГЛАВНЫЙ НАУЧНЫЙ СОТРУДНИК
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.wos_research_id: К-5375-2015
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 7005345027
chairman_dissertation_council.rinc_id: 737793
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: АНДРЕЙ
organization_supervisor.surname: БАТУРИН
organization_supervisor.patronymic: СЕРГЕЕВИЧ
organization_supervisor.position: ДИРЕКТОР
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 29.31.26
rubrics.name: Спектроскопические методы и методики
oecds.code: 01.03.SY
oecds.name: OPTICS
speciality_codes.name: Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)
speciality_codes.code: 05.11.16
supervisors.fio: Увайсов С.У.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Мурашкина Т.И.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Азарова В.В.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физическая электроника
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ФГУП "ВНИИОФИ"
protection_organization.name: Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений"
protection_organization.ogrn: 1027739034036
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии
protection_organization.okopf: Федеральные государственные унитарные предприятия
author_organization.short_name: РТУ МИРЭА
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МИРЭА - РОССИЙСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
author_organization.ogrn: 1037739552740
author_organization.supervisor_name: СТАНИСЛАВ
author_organization.supervisor_surname: КУДЖ
author_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСЕЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения