name: Моделирование взаимодействия низкотемпературной плазмы газового разряда в смеси аргон - пары ртути и электрода с диэлектрической пленкой на поверхности
keyword_list: ГАЗОВЫЙ РАЗРЯД, СМЕСЬ АРГОН-РТУТЬ, ТОНКАЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПЛЕНКА, РАСПЫЛЕНИЕ КАТОДА
abstract: Цель: исследование методами математического моделирования закономерностей взаимодействия низкотемпературной плазмы в смеси аргон - ртуть с поверхностью катода при наличии на нем тонкой диэлектрической пленки. Исследована зависимость характеристик разряда от температуры, и рассчитаны плотности потоков ионов и быстрых атомов у поверхности металлического катода в такой смеси, а также плотности потоков распыленных с него атомов. Построена модель, описывающая туннелирование электронов из металлической подложки катода в диэлектрическую пленку и их перенос в ней. Разработана модель разряда с катодом, на поверхности которого находится диэлектрическая пленка, и рассчитана интенсивность распыления катода ионами обоих компонентов смеси и быстрыми атомами аргона при различных температурах.
chairman_dissertation_council.surname: Коржавый  А.П.
chairman_dissertation_council.position: Профессор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
organization_supervisor.surname: Царьков А.В
organization_supervisor.position: Директор КФ МГТУ им. Н.Э. Баумана
organization_supervisor.degree: Доктор технических наук
rubrics.code: 29.19.16
rubrics.name: Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
rubrics.code: 29.19.21
rubrics.name: Влияние облучения на свойства твердых тел
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Физика конденсированного состояния
speciality_codes.code: 01.04.07
supervisors.fio: Кристя В.И.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика конденсированного состояния
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Волков С.С.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физическая электроника
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Тимохин М.Ю.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Химическая физика, горение и взрыв, физика экстремальных состояний вещества
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: МГТУ им. Н.Э. Баумана
protection_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" (национальный исследовательский университет)"
protection_organization.ogrn: 1027739051779
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: МГТУ им. Н.Э. Баумана
author_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" (национальный исследовательский университет)"
author_organization.ogrn: 1027739051779
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения