name: Система возбуждения и обработки измерительной информации микроэлектромеханического инерциального модуля с функциями гироскопа и акселерометра
keyword_list: ОБРАБОТКА ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ИНФОРМАЦИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ИНЕРЦИАЛЬНЫЙ МОДУЛЬ МЭМС ГИРОСКОП-АКСЕЛЕРОМЕТР ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНАЯ ЕМКОСТЬ ЕМКОСТНАЯ СТРУКТУРА
abstract: Микроэлектромеханическая система (МЭМС) представляет собой чип, в котором одновременно находится движущаяся 3D микромеханическая структура и микроэлектронная система, отвечающая за обработку сигналов механической системы. В настоящее время наиболее востребованными МЭМС являются инерциальные датчики (гироскопы и акселерометры). Они применяются для решения многих сложных задач ориентации, навигации, управления и мониторинга в разнообразных областях, таких как автомобильная промышленность, потребительская электроника, медицина, робототехника, беспилотные летательные аппараты, мониторинг технических объектов и сейсмологической обстановки. Благодаря комбинации акселерометров и гироскопов появляется возможность отследить и зафиксировать движение в трехмерном пространстве. Из-за особенностей применяемой технологии изготовления МЭМС гироскопов датчики, измеряющие амплитуды вторичных и первичных колебаний, а также привод, возбуждающий первичные колебания, являются емкостными, которые содержат подвижные и неподвижные электроды. Чувствительность МЭМС гироскопа зависит от соотношения частот его первичных и вторичных колебаний, которая может быть увеличена за счёт эффекта резонанса. Изменение соотношения между частотами приводит к снижению чувствительности и даже неработоспособности гироскопа. Задача системы возбуждения заключается в возбуждении первичных колебаний и стабилизации их параметров в условиях наличия возмущающих факторов, основными из которых является температура окружающей среды и паразитные связи. Целью диссертационной работы является разработка системы возбуждения первичных колебаний и системы обработки измерительной информации микроэлектромеханического инерциального модуля компенсационного типа, реализующего функции гироскопа и акселерометра, устойчивого к температурным воздействиям
chairman_dissertation_council.name: Алексей
chairman_dissertation_council.surname: Солдатов
chairman_dissertation_council.patronymic: Иванович
chairman_dissertation_council.position: Профессор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: D-6232-2014
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 24725397500
chairman_dissertation_council.rinc_id: 6731-6134
chairman_dissertation_council.url: https://portal.tpu.ru/SHARED/a/ASOLDATOF
chairman_dissertation_council.orcid: -
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Андрей
organization_supervisor.surname: Яковлев
organization_supervisor.patronymic: Александрович
organization_supervisor.position: Врио ректора
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 59.14.21
rubrics.name: Проектирование и конструирование электронных измерительных приборов
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
speciality_codes.name: Приборы и методы измерения (по видам измерений)
speciality_codes.code: 05.11.01
supervisors.fio: Нестеренко Т.Г.
supervisors.scientific_degree: Кандидат технических наук
supervisors.speciality_code: Динамика, прочность машин, приборов и аппаратуры
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Лысенко И.Е.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Якубов В.П.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Радиофизика
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ФГАОУ ВО НИ ТПУ, ТПУ, НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ, ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
protection_organization.ogrn: 1027000890168
protection_organization.supervisor_name: АНДРЕЙ
protection_organization.supervisor_surname: ЯКОВЛЕВ
protection_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: ФГАОУ ВО НИ ТПУ, ТПУ, НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ, ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
author_organization.ogrn: 1027000890168
author_organization.supervisor_name: АНДРЕЙ
author_organization.supervisor_surname: ЯКОВЛЕВ
author_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения