name: Технология серийного производства и новые конфигурации акустооптических модуляторов
keyword_list: акустооптические (АО) приборы технология серийного производства АО приборов акустооптические модуляторы (АОМ)
abstract: Целью диссертационной работы являлось создание новых конфигураций акустооптических модуляторов и разработка и внедрение технологии серийного производства АОМ. 
  На основе анализа АО взаимодействия в кристаллах, перспективных для акустооптики, сконструированы, изготовлены и протестированы АОМ с новыми характеристиками. В частности, создана группа уникальных АОМ на низкосимметричных моноклинных кристаллах калий-иттриевого вольфрамата, обладающих высокой лазерной стойкостью: лазерные затворы на сдвиговой акустической моде, пространственный АОМ, монолитный двухкоординатный дефлектор, лазерный затвор для внутрирезонаторного управления поляризацией лазерного излучения.   
  Востребованность АО устройств и непрерывное расширение их номенклатуры предопределило необходимость создания технологии серийного производства АОМ. Эта задача решена в ходе выполнения диссертационной работы: технология серийного производства АОМ, обеспечивающая выпуск АОМ в количестве более 20 000 штук в год, разработана и внедрена в НТО «ИРЭ-Полюс». В основе разработанной технологии лежит идея использования блоков акустооптических ячеек (АОЯ) с последующим их разделением на отдельные АОЯ. Центральным звеном технологической цепочки является сконструированная и изготовленная уникальная установка вакуумной диффузионной сварки, позволяющая надежно соединять пьезопреобразователи и светозвукопроводы необходимых габаритов.
  Наиболее важные результаты диссертационной работы заключаются в следующем. 
  1.	Разработанная оригинальная автоматизированная установка вакуумной диффузионной сварки и технологическая цепочка на ее основе позволяют серийно производить АОМ на основе TeO2, обеспечивая выпуск более 20 000 изделий в год. Исследования показали, что для достижения однородности резистивного напыления слоев In не хуже 20 нм необходимо использовать одностороннее напыление с одновременным горизонтальным перемещением испарителя. Данная технология и оборудование применимы для производства полной номенклатуры АО приборов при соответствующем изменении технологической оснастки.  
  2.	Предложен новый тип демпфера акустических волн на основе прямого пьезоэлектрического эффекта в дополнительном пьезопреобразователе, согласованном по размерам, диаграмме направленности излучения и резонансной частоте с излучающим пьезопреобразователем. АО прибор, созданный по разработанной технологии вакуумной диффузионной сварки, –  пьезоэлектрический демпфер для лазерного затвора на основе SiO2 –   продемонстрировал эффективность вывода энергии из АО элемента более 60 %. 
  3.	Применение изотропной дифракции на медленной квазисдвиговой акустической моде в моноклинном кристалле KY(WO4)2 позволило создать высокоэффективные лазерные затворы для среднего инфракрасного диапазона длин волн. На основе данного типа дифракции также впервые созданы новые типы АО приборов, использующие низкую симметрию фотоупругого эффекта в моноклинных кристаллах: монолитный двухкоординатный дефлектор неполяризованного излучения и лазерный затвор для внутрирезонаторного управления поляризацией лазерного излучения.   
  4.	Исследование изотропной дифракции в кристалле NaBi(MoO4)2 показало, что этот кристалл может быть использован для создания АОМ неполяризованного излучения с высокой эффективностью, как альтернатива серийно выпускаемым АОМ на TeO2.
  Результаты диссертационной работы защищены 7 патентами и отражены в 6 статьях в научных журналах. Технологическая часть работы внедрена в НТО «ИРЭ-Полюс», что подтверждено Актом внедрения.
chairman_dissertation_council.name: Александр
chairman_dissertation_council.surname: Сигов
chairman_dissertation_council.patronymic: Сергеевич
chairman_dissertation_council.position: Президент РТУ МИРЭА
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Академик
chairman_dissertation_council.wos_research_id: U-2545-2019
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 35557510600
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Николай
organization_supervisor.surname: Прокопов
organization_supervisor.patronymic: Иванович
organization_supervisor.position: Первый проректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 29.33.17
rubrics.name: Методы управления оптическим излучением
rubrics.code: 47.13.06
rubrics.name: Технология и оборудование для производства приборов и устройств квантовой электроники
oecds.code: 01.03.SY
oecds.name: OPTICS
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
speciality_codes.name: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
speciality_codes.code: 05.27.06
supervisors.fio: Юшков К.Б.
supervisors.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Радиофизика
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Мазур М.М.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Приборы и методы экспериментальной физики
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Батшев В.И.
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: РТУ МИРЭА
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МИРЭА - РОССИЙСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
protection_organization.ogrn: 1037739552740
protection_organization.supervisor_name: СТАНИСЛАВ
protection_organization.supervisor_surname: КУДЖ
protection_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСЕЕВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: МИСиС, НИТУ "МИСиС"
author_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
author_organization.ogrn: 1027739439749
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения