name: Разработка физической методики исследования сверхбыстрых электронных процессов при фемтосекундной лазерной модификации поверхности кремния для применения в устройствах квантовой электроники
keyword_list: ФЕМТОСЕКУНДНЫЕ ЛАЗЕРНЫЕ ИМПУЛЬСЫ, СДВОЕННЫЕ ИМПУЛЬСЫ, МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ, МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЕ, ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЕ ВОЛНЫ, ПОВЕРХНОСТНЫЙ ПЛАЗМОННЫЙ РЕЗОНАНС, ОПТИЧЕСКИ СЛОИСТЫЕ СТРУКТУРЫ
abstract: Цель: разработка физической методики исследования сверхбыстрых электронных процессов лазерной модификации поверхности кремния и создание на этой базе прототипа сенсора поверхностных плазмонов для расширения области применения фемтосекундных лазерных систем при создании многофункциональных (светопоглощающих, гидрофобных и т.д.) поверхностей широкого круга использования, в том числе в изделиях квантовой электроники. Разрабатываются физические основы методики исследования сверхбыстрых процессов фотовозбуждения полупроводника, включающей численный анализ, применение сенсорных устройств, метод сдвоенного фемтосекундного лазерного импульса и экспериментальные результаты по фемтосекундной лазерной модификации поверхности кремния. Проводится численный анализ изменения диэлектрической проницаемости кремния при многоимпульсном воздействии фемтосекундными лазерными импульсами и при воздействии одним сдвоенным фемтосекундным лазерным импульсом. Создаётся сенсор резонанса поверхностных плазмонов, а также определяются его характеристики (чувствительность, разрешение, динамический диапазон). Проводятся измерения резонанса поверхностных плазмонов и волноводных мод на слоистых структурах, имитирующих оптическую структуру, которая устанавливается в кремнии под воздействием фемтосекундных лазерных импульсов. Проводится экспериментальное исследование лазерной модификации поверхности кремния методом сдвоенного фемтосекундного лазерного импульса. На основе предложенной физической методики исследования сверхбыстрых процессов фотовозбуждения полупроводника обосновываются возможные механизмы фемтосекундной лазерной модификации поверхности кремния.
chairman_dissertation_council.surname: Романов А. Е.
chairman_dissertation_council.position: декан факультета лазерной фотоники и оптоэлектроники
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
organization_supervisor.surname: Васильев В. Н.
organization_supervisor.position: Ректор
organization_supervisor.degree: Доктор технических наук
rubrics.code: 29.33.47
rubrics.name: Воздействие лазерного излучения на вещество
oecds.code: 01.03.SY
oecds.name: OPTICS
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Квантовая электроника
speciality_codes.code: 05.27.03
supervisors.fio: Шандыбина Г.Д.
supervisors.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Квантовая электроника
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Груздев В.Е.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Макин  В.С.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: УНИВЕРСИТЕТ ИТМО; НИУ ИТМО; ИТМО
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИТМО"
protection_organization.ogrn: 1027806868154
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: УНИВЕРСИТЕТ ИТМО; НИУ ИТМО; ИТМО
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИТМО"
author_organization.ogrn: 1027806868154
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения