name: Исследование и разработка технологии сборки КМОП КНС и КНИ интегральных микросхем на гибком полиимидном носителе
keyword_list: травитель фоторезист диэлектрик имидизация структура сапфир алюминий лак полиимид гибкий носитель
abstract: Целью работы является разработка и исследование промышленной технологии сборки КМОП КНС и КНИ микросхем на гибком полиимидном носителе, разработка конструктивно-технологических решений, направленных на повышение качества изделий. Обоснован и разработан метод сборки с использованием безадгезивных двухслойных гибких носителей типа «алюминий-полиимид», изготавливаемых из лакофольгового диэлектрика с полной степенью имидизации; разработана методика нанесения фоторезиста погружением, основанная на выборе технологических режимов процесса по результатам экспериментальных исследований толщины наносимого слоя от его вязкости и скорости протяжки гибкой положки; применение методики позволяет улучшить воспроизводимость толщины наносимого слоя и адгезию к подложке, повысить выход годных изделий и их качество; разработана методика обеспечения защиты КНС (КНИ) БИС в процессе технологических операций сборки, монтажа изделий на плату, обеспечивающая повышение стойкости к воздействию СЭ более чем в 10 раз (2500 В). Защищено патентом РФ; разработана методология (технологический маршрут) обеспечения гарантируемой и контролируемой стойкости изделий к специальным внешним воздействующим факторам. По результатам исследований термомеханических напряжений в сборочных микроузлах выявлены пути эффективного уменьшения механических напряжений, возникающих при монтаже; разработан способ изготовления электронных модулей, повышающий радиационную стойкость и расширяющий диапазон рабочих температур за счет применения материалов, стойких к температурным и радиационным нагрузкам - алюминия и полиимида.
chairman_dissertation_council.name: Сергей
chairman_dissertation_council.surname: Гаврилов
chairman_dissertation_council.patronymic: Александрович
chairman_dissertation_council.position: Проректор по НР
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: A-8266-2014
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 7102677239
chairman_dissertation_council.rinc_id: 37731
chairman_dissertation_council.url: https://miet.ru/person/3889
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0002-2967-272X
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Владимир
organization_supervisor.surname: Беспалов
organization_supervisor.patronymic: Александрович
organization_supervisor.position: Ректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.14.07
rubrics.name: Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
rubrics.code: 47.13.13
rubrics.name: Технология и оборудование для производства радиодеталей и компонентов
rubrics.code: 47.13.11
rubrics.name: Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
oecds.code: 02.10.NS
oecds.name: NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
speciality_codes.name: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
speciality_codes.code: 05.27.06
supervisors.fio: Тимошенков С.П.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Горнев Е.С.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Дорошевич В.К.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Стандартизация и управление качеством продукции
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИЭТ"; НИУ МИЭТ;МИЭТ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
protection_organization.ogrn: 1027739615584
protection_organization.supervisor_name: ВЛАДИМИР
protection_organization.supervisor_surname: БЕСПАЛОВ
protection_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: АО"Ангстрем"
author_organization.name: Акционерное общество"Ангстрем"
author_organization.ogrn: 1027700140930
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Акционерные общества
author_organization.okopf: Непубличные акционерные общества