name: Рентгенорефлектометрическое исследование формирования, морфологии и кинетики роста металлических и полупроводниковых наноразмерных пленок
keyword_list: МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, МЕТОД IN SITU РЕНТГЕНОВСКОЙ РЕФЛЕКТОМЕТРИИ, НАНОРАЗМЕРНЫЕ ПЛЕНКИ
abstract: Цель: разработка методов рентгеновской рефлектометрии для определения физических параметров наноразмерных пленок и контроля технологического процесса их получения, нахождение технических решений для реализации этих методов, установление закономерностей формирования, морфологии, кинетики роста металлических и полупроводниковых наноразмерных пленок. Создан многофункциональный вакуумно-технологический комплекс для исследования процессов формирования наноразмерных пленок и контроля их параметров методом in situ рентгеновской рефлектометрии, усовершенствована рентгенооптическая схема метода. Предложен метод идентификации механизмов роста пленок на основе анализа временных зависимостей плотности и шероховатости растущей пленки. Исследованы кинетика роста и морфология нанопленок Ti, Cu, Au, W, Si и Ge при магнетронном осаждении на подложки из монокристаллического Si, а также  закономерности формирования пленок Cu, Au и W на металлических подложках. Усовершенствована рентгенооптическая схема метода in situ рентгеновской рефлектометрии. Предложена экспериментальная рентгенорефлектометрическая методика исследования кинетики роста наноразмерных пленок. Впервые получены экспериментальные данные о кинетике роста пленок Cu, Au, W, Ti, Si, Ge на кремниевых подложках и пленок Cu и Au, W на подложках из Nb и Ta. Обнаружено, что рост пленки Ge осуществляется по механизму Фольмера - Вебера, определен порог перколяции пленки. Проведена оценка эффективности использования усовершенствованного метода in situ рентгеновской рефлектометрии для получения наноразмерных пленок высокого качества и прецизионного контроля их параметров на атомном уровне в процессе роста. Доказана рациональность его применения в составе созданного вакуумно-технологического комплекса. Результаты внедрены в ФГБНУ "НИИ ПМТ", используются в учебном процессе МИЭМ НИУ ВШЭ.
chairman_dissertation_council.surname: Крук Е.А.
chairman_dissertation_council.position: И.о. директора МИЭМ
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
organization_supervisor.surname: Радаев В.В.
organization_supervisor.position: Первый проректор
organization_supervisor.degree: Доктор экономических наук
rubrics.code: 59.45.39
rubrics.name: Приборы для неразрушающего контроля изделий и материалов радиационным методом
rubrics.code: 29.19.16
rubrics.name: Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
rubrics.code: 55.22.19
rubrics.name: Металлические покрытия
oecds.code: 02.00.00
oecds.name: Engineering and Technology
oecds.code: 02.10.NS
oecds.name: NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
speciality_codes.name: Физика конденсированного состояния
speciality_codes.code: 01.04.07
supervisors.fio: Бондаренко Г.Г.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика конденсированного состояния
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: нет
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: нет
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики"; Национальный исследовательский университет ВШЭ; Высшая школа экономики; НИУ ВШЭ; ВШЭ
protection_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики"
protection_organization.ogrn: 1027739630401
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Правительство Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики"; Национальный исследовательский университет ВШЭ; Высшая школа экономики; НИУ ВШЭ; ВШЭ
author_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики"
author_organization.ogrn: 1027739630401
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Правительство Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения