name: Влияние условий плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения на микроструктуру, состав и свойства пленок нитрида алюминия
keyword_list: микроструктура гетероструктуры тонкие пленки режим самоограничения плазмоактивированное атомно-слоевое осаждение нитрид алюминия
abstract: Работа посвящена исследованию влияния условий плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения на структуру, состав и свойства тонких пленок нитрида алюминия, выращенных на подложках монокристаллического кремния и сапфира. Определены условия реализации самоограниченного роста и режимы осаждения кристаллических пленок AlN гексагонального политипа. Показано, что доминирующим механизмом формирования кристаллических пленок нитрида алюминия при их выращивании методом плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения в режиме самоограничения является островковый механизм Фольмера-Вебера.
chairman_dissertation_council.name: Сергей
chairman_dissertation_council.surname: Никулин
chairman_dissertation_council.patronymic: Анатольевич
chairman_dissertation_council.position: Заведующий кафедрой Материаловедения и физики прочности
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: A-4234-2014
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 7006115841
chairman_dissertation_council.rinc_id: 185445
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Михаил
organization_supervisor.surname: Филонов
organization_supervisor.patronymic: Рудольфович
organization_supervisor.position: проректор по науке и инновациям
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 31.15.19
rubrics.name: Химия твердого тела
rubrics.code: 47.09.48
rubrics.name: Наноматериалы для электроники
rubrics.code: 61.13.21
rubrics.name: Химические процессы
oecds.code: 02.05.PZ
oecds.name: METALLURGY & METALLURGICAL ENGINEERING
speciality_codes.name: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
speciality_codes.code: 05.27.06
supervisors.fio: Тарала В. А.
supervisors.scientific_degree: Кандидат химических наук
supervisors.speciality_code: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
protection_organization.short_name: МИСиС, НИТУ "МИСиС"
protection_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
protection_organization.ogrn: 1027739439749
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ФГАОУ ВО «Северо-Кавказский федеральный университет»
author_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Северо-Кавказский федеральный университет»
author_organization.ogrn: 1022601961580
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения