name: Исследование и разработка процессов модификации поверхности полимерных материалов микро- и оптоэлектроники на основе низкочастотного газового разряда плазмы атмосферного давления
keyword_list: Газовые разряды, низкотемпературная плазма, атмосферное давление, тонкие защитные покрытия, углеродные плёнки, фторуглеродные плёнки, полимеры
abstract: В диссертации рассмотрены процессы осаждения из газовой фазы тонких углеродных и фторуглеродных покрытий, полученных при помощи нестационарного низкочастотного плазмотрона атмосферного давления для изделий опто- и микроэлектроники, а также обработка поверхности материалов для компонентов радиоэлектроники. Проведены исследования физико-химических свойств полученных структур.
chairman_dissertation_council.surname: Мамонов А.М.
chairman_dissertation_council.position: Профессор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
organization_supervisor.surname: Равикович Ю.А.
organization_supervisor.position: Проректор по научной работе
organization_supervisor.degree: Доктор технических наук
rubrics.code: 29.19.22
rubrics.name: Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
rubrics.code: 29.19.16
rubrics.name: Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
rubrics.code: 29.27.23
rubrics.name: Пучки в плазме
oecds.code: 01.03.UF
oecds.name: PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
oecds.code: 02.05.QF
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, CHARACTERIZATION & TESTING
speciality_codes.name: Материаловедение (по отраслям)
speciality_codes.code: 05.16.09
supervisors.fio: Елинсон В.М.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Васильева Т.М.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Физика плазмы
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Рыбкин В.В.
opponents.scientific_degree: Доктор химических наук
opponents.speciality_code: Физическая химия
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: МАИ
protection_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)"
protection_organization.ogrn: 1037739180820
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: МАИ
author_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)"
author_organization.ogrn: 1037739180820
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения