name: Резистивное переключение в структурах металл-изолятор-металл на основе оксида гафния и оксида тантала, формируемых атомно-слоевым осаждением
keyword_list: ДИЭЛЕКТРИК, ПЕРЕХОД МЕТАЛЛ-ДИЭЛЕКТРИК, РЕЗИСТИВНОЕ ПЕРЕКЛЮЧЕНИЕ, АТОМНО-СЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ, МЕТАЛЛ-ИЗОЛЯТОР-МЕТАЛЛ
abstract: Установлена корреляция между химическим состоянием границ раздела металл-диэлектрик и режимами резистивного переключения в симметричных МИМ-структурах. Установлено влияние тонкого (2 нм) слоя Al2O3 на параметры резистивного переключения диэлектрика на основе оксида тантала. Получен градиентно-легированный алюминием диэлектрик HfxAl1-xOy. Установлен и продемонстрирован режим подготовки поверхности HfO2, позволяющий при АСО на ней рутения снизить инкубационный период, число реакционных циклов. Установлен с помощью метода РФЭС механизм стационарной стадии АСО рутения.
chairman_dissertation_council.surname: Шешин Е.П.
chairman_dissertation_council.position: зам. зав. кафедрой вакуумной электроники
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
organization_supervisor.surname: Кудрявцев Н. Н.
organization_supervisor.position: ректор
organization_supervisor.degree: Доктор физико-математических наук
rubrics.code: 29.19.22
rubrics.name: Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Физическая электроника
speciality_codes.code: 01.04.04
supervisors.fio: Маркеев А.М.
supervisors.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физическая электроника
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: нет
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: нет
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: МФТИ
protection_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Московский физико-технический институт (национальный исследовательский  университет)"
protection_organization.ogrn: 1027739386135
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: МФТИ
author_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Московский физико-технический институт (национальный исследовательский  университет)"
author_organization.ogrn: 1027739386135
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения