name: Прозрачные омические контакты для изделий гетероструктурной полупроводниковой оптоэлектроники
keyword_list: ПРИБОРЫ ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ И РАДИОФОТОНИКИ, ПЛЕНКИ ITO, ОМИЧЕСКИЙ КОНТАКТ, РЕАКТИВНОЕ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ЭЛЕКТРОННО-ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА, МАГНИТНОЕ СМЕЩЕНИЕ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ
abstract: Объекты исследования: структуры ITO/полупроводник p-типа проводимости гетероструктур для приборов оптоэлектроники и радиофотоники, тонкие пленки ITO, полученные методом реактивного магнетронного распыления мишени In/Sn в кислородсодержащей среде со сниженным радиационно-термическим воздействием на подложку. Цель: разработка физико-химических основ технологии получения тонких низкоомных прозрачных пленок ITO методом магнетронного распыления при сниженном радиационно-термическом воздействии на подложку, исследование свойств пленок ITO и формирование прозрачных омических контактов к изделиям гетероструктурной оптоэлектроники. Разработаны: физико-химические основы синтеза электропроводящих оптически прозрачных пленок ITO методом реактивного магнетронного распыления с возможностью их нанесения на гетероэпитаксиальные полупроводниковые структуры; способ уменьшения радиационно-термического воздействия плазмы магнетронного разряда на подложку при нанесении тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления. Показана перспектива применения пленок ITO в качестве слоя растекания в приборах оптоэлектроники. Методом моделирования показано, что введение слоя растекания тока позволяет увеличить КПД прибора более чем на 50%.
chairman_dissertation_council.surname: Шандаров С.М.
chairman_dissertation_council.position: профессор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
organization_supervisor.surname: Лощилов А.Г.
organization_supervisor.position: проректор по НРиИ
organization_supervisor.degree: Кандидат технических наук
rubrics.code: 29.27.35
rubrics.name: Магнитное удержание плазмы
rubrics.code: 29.19.25
rubrics.name: Взаимодействие проникающего излучения с твердыми телами
rubrics.code: 29.19.16
rubrics.name: Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
speciality_codes.name: Физическая электроника
speciality_codes.code: 01.04.04
supervisors.fio: Троян П.Е.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Физическая электроника
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Семенов А.П.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Физическая электроника
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Работкин С.В.
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Вакуумная и плазменная электроника
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ТУСУР
protection_organization.name: Федеральное государственное  бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники"
protection_organization.ogrn: 1027000867068
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ТУСУР
author_organization.name: Федеральное государственное  бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники"
author_organization.ogrn: 1027000867068
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения