name: Разработка методики расчета и проектирования упругого элемента тензодатчика на структуре “кремний на сапфире”
keyword_list: ТЕНЗОДАТЧИК, УПРУГИЙ ЭЛЕМЕНТ, ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ, МНОГОКРИТЕРИАЛЬНАЯ ОПТИМИЗАЦИЯ.
abstract: Объект исследования: двухмембранный упругий элемент серийно выпускаемого датчика. Определены максимальные эквивалентные напряжения в рассматриваемой конструкции, получено распределение деформаций на поверхности упругого элемента, выявлена толщина слоя кремния и сапфировой подложки в структуре «кремний на сапфире». Предложена методика расчета и проектирования упругого элемента, основанная на методе исследования пространства параметров. Получены Парето-оптимальные варианты конструкции, превосходящие исходный вариант по всем параметрам качества. Методика реализована в виде программы и внедрена в расчетную практику предприятия ЭПО «Сигнал».
chairman_dissertation_council.surname: Ганиев Р. Ф.
chairman_dissertation_council.position: Научный руководитель
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
organization_supervisor.surname: Глазунов В. А.
organization_supervisor.position: Директор
organization_supervisor.degree: Доктор технических наук
rubrics.code: 30.19.02
rubrics.name: Общие проблемы
oecds.code: 02.03.00
oecds.name: Mechanical engineering
speciality_codes.name: Динамика, прочность машин, приборов и аппаратуры
speciality_codes.code: 01.02.06
supervisors.fio: Гаврюшин Сергей Сергеевич
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Динамика, прочность машин, приборов и аппаратуры
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Дмитриев Владимир Георгиевич
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Механика деформируемого твердого тела
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Хроматов Василий Ефимович
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Динамика, прочность машин, приборов и аппаратуры
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ИМАШ РАН
protection_organization.name: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт машиноведения им. А.А. Благонравова Российской академии наук
protection_organization.ogrn: 1037700067492
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Федеральное государственное бюджетное учреждение "Российская академия наук"
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: Московский Политех
author_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский политехнический университет»
author_organization.ogrn: 1167746817810
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения