name: Механические свойства пленок нано-SiC, синтезированных методом замещения атомов на Si и гетероструктур, выращенных на их основе
keyword_list: наноиндентирование механические свойства гетероструктуры твердость модуль упругости
abstract: Диссертация посвящена исследованию механических и деформационных свойств эпитаксиальных пленок таких широкозонных полупроводниковых материалов как: AlN, GaN и β-Ga2O3, выращенных на кремнии с буферным слоем нано-карбида кремния (SiC/Si) методом хлорид-гидридной эпитаксии. Буферные слои SiC были синтезированы на Si новым методом согласованного замещения атомов. Излагаются методологические основы нового, разработанного в диссертации, метода индентирования, позволяющего экспериментально измерять механические характеристики пленок толщиной менее 100 нанометров. Приводится описание новой, ранее неизвестной, разработанной в диссертации модели, позволяющей описывать деформационные свойства наномасштабных двухслойных пленок. Модель позволяет описывать широкий класс двухслойных пленочных систем, в том числе и жесткие пленки на мягких подложках. Показано, что метод наноиндентирования может быть применен для измерения механических и деформационных свойств широкого класса наномасштабных алмазоподобных пленок. Впервые экспериментально определены параметры твердости и модуля упругости пленок нано-SiC на Si, слоев AlN, GaN и β-Ga2O3 на гибридных подложках нано-SiC/Si. Разработана новая методика, позволяющая визуализировать остаточную деформацию в прозрачном и полупрозрачном кристалле вокруг отпечатка, сформированного в процессе наноиндентирования. Обнаружено, что кристалл β-Ga2O3 является ауксетиком.
chairman_dissertation_council.name: Дмитрий
chairman_dissertation_council.surname: Индейцев
chairman_dissertation_council.patronymic: Анатольевич
chairman_dissertation_council.position: Научный руководитель ИПМаш РАН
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Член-корреспондент РАН
chairman_dissertation_council.wos_research_id: O-4627-2015
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 56205183900
chairman_dissertation_council.rinc_id: 7612
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Владимир
organization_supervisor.surname: Полянский
organization_supervisor.patronymic: Анатольевич
organization_supervisor.position: Директор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 30.19.57
rubrics.name: Прочность материалов
oecds.code: 02.10.NS
oecds.name: NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
speciality_codes.name: Механика деформируемого твердого тела
speciality_codes.code: 01.02.04
supervisors.fio: Кукушкин С. А.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика конденсированного состояния
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Лисовенко Д. С.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Механика деформируемого твердого тела
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Семенов А. С.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Механика деформируемого твердого тела
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ИПМАШ РАН
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ МАШИНОВЕДЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
protection_organization.ogrn: 1037800003560
protection_organization.supervisor_name: ВЛАДИМИР
protection_organization.supervisor_surname: ПОЛЯНСКИЙ
protection_organization.supervisor_patronymic: АНАТОЛЬЕВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ИПМАШ РАН
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ МАШИНОВЕДЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
author_organization.ogrn: 1037800003560
author_organization.supervisor_name: ВЛАДИМИР
author_organization.supervisor_surname: ПОЛЯНСКИЙ
author_organization.supervisor_patronymic: АНАТОЛЬЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения