name: Определение надёжности суб-100-нм КМОП ИС методом ускоренных испытаний тестовых структур, размещённых на полупроводниковой пластине
keyword_list: Физические механизмы отказов Тестовые структуры КМОП интегральные схемы Надёжность Электронная компонентная база
abstract: Диссертация посвящена исследованию надёжности суб-100-нм КМОП ИС методом ускоренных испытаний тестовых структур, размещённых на полупроводниковой пластине. Предложен метод оценки надёжности специализированных КМОП ИС, который позволяет оперативно оценить надёжность различных ИС, расположенных совместно на одной пластине. Разработаны методики и автоматизированные программы ускоренных измерений тестовых кристаллов, позволяющие оценивать влияние основных механизмов физических отказов на надёжность КМОП ИС. Разработана топология специализированного тестового кристалла с набором структур. Представлены результаты экспериментальных исследований тестовых кристаллов изготовленных с проектными нормами 65 нм.
chairman_dissertation_council.name: Юрий
chairman_dissertation_council.surname: Чаплыгин
chairman_dissertation_council.patronymic: Александрович
chairman_dissertation_council.position: президент
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Академик
chairman_dissertation_council.wos_research_id: B-3188-2016
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 6603797878
chairman_dissertation_council.rinc_id: 116306
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0002-7505-5175
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Владимир
organization_supervisor.surname: Беспалов
organization_supervisor.patronymic: Александрович
organization_supervisor.position: ректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.33.31
rubrics.name: Интегральные микросхемы
rubrics.code: 47.13.11
rubrics.name: Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
rubrics.code: 47.13.07
rubrics.name: Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
speciality_codes.name: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
speciality_codes.code: 05.27.01
supervisors.fio: Сауров А. Н.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Каргин Н. И.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Физическая химия
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Сергеев В. А.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИЭТ"; НИУ МИЭТ;МИЭТ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
protection_organization.ogrn: 1027739615584
protection_organization.supervisor_name: ВЛАДИМИР
protection_organization.supervisor_surname: БЕСПАЛОВ
protection_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: НПК "Технологический центр"
author_organization.name: Федеральное государственное бюджетное научное учреждение «Научно-производственный комплекс «Технологический центр"
author_organization.ogrn: 1027700428480
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство образования и науки Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения