name: Исследование метода непрямого оптического контроля толщин многослойных покрытий в широком спектральном диапазоне
keyword_list: НЕПРЯМОЙ ШИРОКОПОЛОСНЫЙ КОНТРОЛЬ; СИСТЕМА КОНТРОЛЯ; ТОНКИЕ ПЛЁНКИ; МНОГОСЛОЙНЫЕ ПОКРЫТИЯ
abstract: Цель: исследование метода непрямого широкополосного контроля нанесения многослойных покрытий с использованием численного решения в реальном времени обратных задач для снижения погрешностей измерения толщин наносимых слоев и создание опытного образца системы контроля на его основе. Проведено исследование влияния характеристик основных элементов системы широкополосного контроля и параметров нанесения на случайные и систематические погрешности измерения толщин наносимых слоев, и даны рекомендации по снижению этих погрешностей. Предложен метод контроля многослойных покрытий с предварительно нанесенным слоем (слоями), который позволяет в разы снизить погрешности измерения для нанометровых стартовых слоев. Разработана система контроля, способная измерять толщины и скорость нанесения слоев в реальном времени in situ. Система внедрена в состав вакуумной установки ВУ 2М Института лазерной физики Сибирского отделения Российской академии наук, и на ней изготовлены различные многослойные разнотолщинные покрытия.
chairman_dissertation_council.surname: Вострецов А. Г.
chairman_dissertation_council.position: Проректор по научной работе
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
organization_supervisor.surname: Батаев А. А.
organization_supervisor.position: Ректор
organization_supervisor.degree: Доктор технических наук
rubrics.code: 59.41.33
rubrics.name: Приборы для измерения оптических свойств сред и материалов
rubrics.code: 59.45.37
rubrics.name: Приборы для неразрушающего контроля изделий и материалов оптическим методом
rubrics.code: 81.37.15
rubrics.name: Оптические покрытия
oecds.code: 02.05.QG
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
oecds.code: 01.03.SY
oecds.name: OPTICS
oecds.code: 02.02.AC
oecds.name: AUTOMATION & CONTROL SYSTEMS
speciality_codes.name: Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
speciality_codes.code: 05.11.07
supervisors.fio: Лабусов В. А.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Чугуй Ю. В.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Шаяпов В. Р.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физическая химия
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: НГТУ
protection_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Новосибирский государственный технический университет»
protection_organization.ogrn: 1025401485010
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ИАиЭ СО РАН
author_organization.name: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук
author_organization.ogrn: 1025403647807
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения