name: Исследование механического воздействия на металлическую мишень, возникающего при лазерной абляции
keyword_list: Лазерная абляция радиационный транспорт энергии лазерно-индуцированные ударные волны кавитация поляризация фргаментация
abstract: ЭУФ (экстремальный ультрафиолет) литография - технология для напечатания микросхем следующего поколения. Принцип работы данной технологии заключается в том, что оптически уменьшенное изображение заранее подготовленной маски выжигается на подложке. Для построения изоображения используется излучение на длине волны 13.5 нм, что позволяет увеличить разрешающую способность системы. В качестве источника такого излучения используется лазерно-индуцированная плазмы возникающая при облчении лазерным импульсом жидкую оловянную каплю. Разрабатываемый для ЭУФ литографии исчтоник излучения должен обладать высоким КПД и долгим временем бесперебойной рбаоты. Недавно было показано, что эти параметры источника возможно улучшить используя технологию лазерного предимпульса. Данная работа посвящена исследованиям вляния фемтосекундного лазерного предимпульса на жидкометаллическую каплю  и измерению импульса лазерно-индуцированной оловянной плазмы. Все исследования проведены в условиях соответствующих ЭУФ источнику и их результаты могут быть непосредственно применены для оптимизации его параметров.
chairman_dissertation_council.name: Евгений
chairman_dissertation_council.surname: Рагозин
chairman_dissertation_council.patronymic: Николаевич
chairman_dissertation_council.position: ведущий научный сотрудник
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Доцент
chairman_dissertation_council.wos_research_id: M-3139-2015
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 7003614727
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Николай
organization_supervisor.surname: Кудрявцев
organization_supervisor.patronymic: Николаевич
organization_supervisor.position: Ректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 29.33.47
rubrics.name: Воздействие лазерного излучения на вещество
rubrics.code: 29.27.25
rubrics.name: Ударные волны
rubrics.code: 29.31.27
rubrics.name: Взаимодействие оптического излучения с веществом
oecds.code: 01.03.UF
oecds.name: PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
oecds.code: 01.03.SY
oecds.name: OPTICS
speciality_codes.name: Оптика
speciality_codes.code: 01.04.05
supervisors.fio: Медведев В.В.
supervisors.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Оптика
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
protection_organization.short_name: МФТИ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
protection_organization.ogrn: 1027739386135
protection_organization.supervisor_name: НИКОЛАЙ
protection_organization.supervisor_surname: КУДРЯВЦЕВ
protection_organization.supervisor_patronymic: НИКОЛАЕВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: МФТИ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
author_organization.ogrn: 1027739386135
author_organization.supervisor_name: НИКОЛАЙ
author_organization.supervisor_surname: КУДРЯВЦЕВ
author_organization.supervisor_patronymic: НИКОЛАЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения