name: Технология создания квазиодномерных наноструктур с регулируемым продольным потенциальным рельефом
keyword_list: НАНОСТРУКТУРА, ДВУМЕРНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ ГАЗ (ДЭГ, 2DEG), ОМИЧЕСКИЙ КОНТАКТ, ПЬЕЗОЭФФЕКТ, ГЕТЕРОСТРУКТУРА, GAAS
abstract: В работе рассматриваются технологии создания и исследования квантово-размерных эффектов в селективно легированных полупроводниковых гетероструктурах GaAs/AlGaAs с двумерным электронным газом. Первая глава посвящена общему обзору образцов, применяемых для наблюдения квантово-размерных эффектов. Во второй главе приводится технология обработки заготовок перед проведением нанолитографии. Также рассматривается влияние различных технологических операций на качество омических контактов. В третьей главе приведены способы проведения нанолитографии на отдельных кристаллах, позволяющие сформировать наноразмерную структуру. Четвертая глава содержит описание методов анализа таких структур и полученные экспериментальные данные. Пятая глава представляет собой описание физической модели, объясняющей наблюдавшуюся в эксперименте аномальную зависимость сопротивлений контактов от кристаллографической ориентации и расстояния между ними.
chairman_dissertation_council.surname: Никулин С.А.
chairman_dissertation_council.position: Заведующий кафедрой
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
organization_supervisor.surname: Филонов М.Р.
organization_supervisor.position: Проректор по науке и инновациям
organization_supervisor.degree: Доктор технических наук
rubrics.code: 53.41.35
rubrics.name: Получение других элементарных полупроводников
oecds.code: 02.05.PZ
oecds.name: METALLURGY & METALLURGICAL ENGINEERING
speciality_codes.name: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
speciality_codes.code: 05.27.06
supervisors.fio: Костишин В.Г.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика полупроводников
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: -
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: МИСиС, НИТУ "МИСиС"
protection_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
protection_organization.ogrn: 1027739439749
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: МИСиС, НИТУ "МИСиС"
author_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
author_organization.ogrn: 1027739439749
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения