name: Формирование и исследование свойств эпитаксиальных структур GaN/Si(111)
keyword_list: жидкостное травление молекулярно-пучковая эпитаксия нитрид галлия
abstract: Диссертация посвящена исследованию свойств эпитаксиальных слоев GaN, выращенных на подложках Si(111) методом молекулярно-пучковой эпитаксии с плазменной активацией азота, а также разработке подходов к формированию наноструктур различного типа на их основе. Рассмотрены два типа эпитаксиальных структур GaN/Si(111): с переходным слоем в виде тонкого слоя нитрида кремния GaN/SixNy/Si(111), сформированного с помощью нитридизации кремниевой подложки при различных температурах, а также с переходным слоем в виде массива наноколонн GaN/HK-GaN/Si(111). Исследована морфология, а также структурные, оптические, электрофизические свойства синтезированных эпитаксиальных слоев GaN. Разработана экспресс-методика идентификации кристаллографической полярности GaN. С помощью разработанной методики определена кристаллографическая полярность эпитаксиальных слоев GaN, обнаружена зависимость кристаллографической полярности эпитаксиальных слоев GaN от условий их роста на нитридизованных подложках Si(111) и показана принципиальная возможность управления полярностью эпитаксиальных слоев GaN с помощью изменения температуры роста на этапе синтеза зародышевого слоя GaN. Продемонстрирована возможность формирования структур с вертикальными стенками и подвешенных структур на основе Ga-полярных эпитаксиальных слоев GaN, и возможность отделения Ga-полярных эпитаксиальных слоев GaN от подложки Si(111) c помощью различных подходов к жидкостному травлению исследуемых эпитаксиальных структур GaN/Si(111).
chairman_dissertation_council.name: Виктор
chairman_dissertation_council.surname: Лучинин
chairman_dissertation_council.patronymic: Викторович
chairman_dissertation_council.position: Заведующий кафедрой
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: 0
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 6701446103
chairman_dissertation_council.rinc_id: 37314
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Виктор
organization_supervisor.surname: Шелудько
organization_supervisor.patronymic: Николаевич
organization_supervisor.position: ректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 29.19.16
rubrics.name: Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
rubrics.code: 29.19.31
rubrics.name: Полупроводники
oecds.code: 02.10.NS
oecds.name: NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Физика полупроводников
speciality_codes.code: 01.04.10
supervisors.fio: Буравлев А. Д.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика полупроводников
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Журавлев К. С.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Петров С. И.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
protection_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. В.И. Ульянова (Ленина)"
protection_organization.ogrn: 1027806875381
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: СПБАУ РАН ИМ. Ж.И. АЛФЕРОВА, АКАДЕМИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Ж.И. АЛФЕРОВА, АЛФЕРОВСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ "САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ АКАДЕМИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ Ж.И. АЛФЕРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
author_organization.ogrn: 1027802511879
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения