name: Формирование и исследование хиральных фотонных наноструктур методами электронной и ионной микроскопии
keyword_list: НАНОТЕХНОЛОГИИ, ФОТОНИКА, ФОКУСИРОВАННЫЙ ИОННЫЙ ПУЧОК, МЕТАМАТЕРИАЛЫ
abstract: Реализован и успешно применен комплекс современных методов электронной и ионной микроскопии, а также рентгеноспектрального микроанализа (РСМА) для исследования хиральных фотонных наноструктур различной симметрии в тонких слоях серебра и структурах вида кремний-на-сапфире (КНС), изготовленных методом фокусированного ионного пучка (ФИП) по программируемым цифровым шаблонам. Определены параметры ФИП, оптимальные для литографии единичных хиральных наноструктур и их массивов. Показано, что сформированные наноструктуры обладают экстремальными значениями кругового дихроизма и оптического вращения в видимом диапазоне спектра. Выявлены различия в оптическом пропускании эпитаксиальной пленки кремния в КНС до и после изготовления в ней периодического профиля переменной глубины. Установлено, что термическое окисление в соответствии с моделью Массуда обеспечивает повышение оптической прозрачности наноструктур в КНС по сравнению с измеренной оптической прозрачностью для образца до отжига. Методами РСМА проведен сравнительный анализ концентрационных профилей и карт распределения химических элементов в КНС при изготовлении хиральных фотонных наноструктур. Методами просвечивающей микроскопии и РСМА исследован процесс имплантации галлия в приповерхностные слои КНС после обработки ФИП при изготовлении хиральных фотонных наноструктур. Методами трехмерной ФИП-томографии определен рельеф поверхности хиральных наноструктур в КНС, и получены трехмерные модели слоев в КНС для изготовленных наноструктур до и после их термического окисления. Показана применимость полученных моделей для численного моделирования.
chairman_dissertation_council.surname: Ковальчук М. В.
chairman_dissertation_council.position: зав.отделом
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
organization_supervisor.surname: Алексеева О. А.
organization_supervisor.position: директор
organization_supervisor.degree: Кандидат физико-математических наук
rubrics.code: 29.19.22
rubrics.name: Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Физика конденсированного состояния
speciality_codes.code: 01.04.07
supervisors.fio: Артемов, В.В.
supervisors.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика конденсированного состояния
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Аронзон, Б.А.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика конденсированного состояния
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Боргардт, Н.И.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФЕДЕРАЛЬНЫЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КРИСТАЛЛОГРАФИЯ И ФОТОНИКА" РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
protection_organization.ogrn: 1037739548747
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФЕДЕРАЛЬНЫЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КРИСТАЛЛОГРАФИЯ И ФОТОНИКА" РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
author_organization.ogrn: 1037739548747
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения