name: Плазмохимическое получение изотопно-модифицированных Si, B, Mo, их карбидов и германия из летучих галогенидов для новых применений
keyword_list: Изотопные вещества Плазмохимия Летучие галогениды Кремний Германий Бор Молибден Наноматериалы
abstract: Получение высокочистых изотопно-модифицированных Si, Ge, B и Mo, а также
  соединений на их основе актуально, так как данные вещества, в сочетании с их
  структурными особенностями обладают новыми уникальными свойствами. Для их
  получения наиболее целесообразно использовать их летучие соединения – фториды и
  хлориды, так как для этих соединений хорошо разработаны технологии глубокой очистки
  и изотопного обогащения. Химические методы получения Si, Ge, B и Mo из летучих
  галогенидов, как правило, многостадийны, что приводит к невозвратным потерям
  изотопно-обогащенного вещества. Применение плазмохимических методов позволяет
  обойти вышеуказанные недостатки. Из литературы следует, что плазмохимические
  методы в основном широко используются в микроэлектронике. Систематического
  исследования процессов плазмохимического водородного восстановления указанных
  галогенидов относительно прямого, одностадийного выделения элементарных веществ и
  соединений в различных агрегатных формах, в том числе изотопно-обогащенных, не
  проводилось.
  Целью данной работы является развитие физико-химических основ
  плазмохимических процессов водородного восстановления летучих неорганических
  фторидов кремния, германия, бора, молибдена, а также хлорида бора как одностадийных
  методов получения высокочистых кремния, германия, бора, молибдена и синтеза
  карбидов кремния, бора и молибдена в виде слитков, слоев и нанопорошков со
  смещенным изотопным составом для новых применений в микроэлектронике,
  радиационной защите и реакторостроении, а также ядерной медицине.
  В работе использовались различные типы ВЧ и СВЧ разрядов, а также разряд,
  индуцируемый лазерным оптическим пробоем.
  Показано, что для получения слоев изотопно-модифицированных 28Si и 72Ge,
  пригодных дальнейшего получения монокристаллов следует применять ВЧИ-разряд
  низкого давления. Данный тип разряда характеризуется высокой неравновесностью.
  Основным механизмом взаимодействия электронов плазмы с летучими галогенидами
  является диссоциативное прилипание. Большое значение в данных разрядах приобретает
  аргон как инициатор процесса диссоциации молекулярного водорода и атомарный
  водород как высокоактивный восстановитель. Отдельный интерес представляет ВЧД-
  разряд, который можно охарактеризовать как квазиравновесный. В данном типе разряда
  создаются условия для образования наночастиц. Кроме того, в нем могут быть
  реализованы высокие напряженности электрического поля. В данном разряде, впервые,
  были получены наночастицы 98Мо, а также карбиды98Мо
  нанодисперсного 10В из 10ВCl3 наиболее подходит ВЧИ разряд атмосферного давления.
  Данный разряд представляет собой равновесную, термическую плазму, в которой
  ионизация происходит за счет соударения тяжелых частиц, а резкая закалка продуктов
  реакции на выходе из зоны разряда обуславливает образование наночастиц. Так же,
  термическая плазма, но, генерируемая оптическим пробоем при атмосферном давлении
  пригодна для получения изотопно-модифицированных наночастиц 29Si и 10В. Данный тип
  разряда характеризуется высокой температурой газ благодаря чему происходит полная
  атомизация даже таких химически прочных соединений как галогениды Si и В.
  Систематическое исследование взаимодействия различных типов газовых разрядов
  и химических систем на основе летучих галогенидов позволило установить связь между
  свойствами выбранных газовых разрядов, условиями проведения плазмохимического
  водородного восстановления исследуемых галогенидов и формами веществ, полученных
  из этих галогенидов в данных разрядах.
  Основными областями, в которых полученные вещества находят новое применение
  – это электронная техника, радиационная защита и реакторостроение, а также ядерная
  медицина.
chairman_dissertation_council.name: Александр
chairman_dissertation_council.surname: Князев
chairman_dissertation_council.patronymic: Владимирович
chairman_dissertation_council.position: Проректор по учебной работе
chairman_dissertation_council.degree: Доктор химических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: E-7898-2013
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 35613223900
chairman_dissertation_council.rinc_id: 54893
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0002-2880-3484
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Михаил
organization_supervisor.surname: Иванченко
organization_supervisor.patronymic: Васильевич
organization_supervisor.position: Проректор по научной работе
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 31.15.30
rubrics.name: Радиационная химия. Плазмохимия
rubrics.code: 61.13.17
rubrics.name: Термокинетические процессы
rubrics.code: 31.17.15
rubrics.name: Неорганическая химия
oecds.code: 02.10.NS
oecds.name: NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
oecds.code: 02.04.II
oecds.name: ENGINEERING, CHEMICAL
oecds.code: 01.04.DY
oecds.name: CHEMISTRY, MULTIDISCIPLINARY
oecds.code: 01.04.EI
oecds.name: CHEMISTRY, PHYSICAL
oecds.code: 01.04.EC
oecds.name: CHEMISTRY, INORGANIC & NUCLEAR
speciality_codes.name: Физическая химия
speciality_codes.code: 1.4.4.
speciality_codes.name: Неорганическая химия
speciality_codes.code: 1.4.1.
opponents.fio: Титов В.А.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физическая химия
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Курский Ю.А.
opponents.scientific_degree: Доктор химических наук
opponents.speciality_code: Органическая химия
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Шахатов В.А.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика плазмы
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Н.И. ЛОБАЧЕВСКОГО, НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Н.И. ЛОБАЧЕВСКОГО, ННГУ ИМ. Н.И. ЛОБАЧЕВСКОГО, УНИВЕРСИТЕТ ЛОБАЧЕВСКОГО, ННГУ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Н.И. ЛОБАЧЕВСКОГО"
protection_organization.ogrn: 1025203733510
protection_organization.supervisor_name: ЕЛЕНА
protection_organization.supervisor_surname: ЗАГАЙНОВА
protection_organization.supervisor_patronymic: ВАДИМОВНА
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: ИХВВ РАН
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ХИМИИ ВЫСОКОЧИСТЫХ ВЕЩЕСТВ ИМ. Г.Г. ДЕВЯТЫХ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
author_organization.ogrn: 1025203577079
author_organization.supervisor_name: АНДРЕЙ
author_organization.supervisor_surname: БУЛАНОВ
author_organization.supervisor_patronymic: ДМИТРИЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения