name: Модификация свойств поверхности эпитаксиальных слоев GaAs с помощью зонда атомно-силового микроскопа
keyword_list: МОЛЕКУЛЯРНАЯ ДИНАМИКА, АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, ПРОФИЛИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ, ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СЛОИ, АРСЕНИД ГАЛЛИЯ, НАНОИНДЕНТИРОВАНИЕ
abstract: Разработана методика модификации поверхности эпитаксиальных слоев GaAs зондом атомно-силового микроскопа (АСМ) на субнанометровом уровне по глубине. Показано, что при проведении модификации поверхности зондом АСМ происходит локальное изменение потенциала поверхности. Методом молекулярной динамики описан процесс наноиндентирования сферическим индентором атомарно-гладкой поверхности GaAs с образованием димеров атомов As.
chairman_dissertation_council.surname: Бордовский Г.А.
chairman_dissertation_council.position: профессор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
organization_supervisor.surname: Лактионов А.А.
organization_supervisor.position: начальник управления
organization_supervisor.degree: Кандидат педагогических наук
rubrics.code: 29.19.22
rubrics.name: Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Физика конденсированного состояния
speciality_codes.code: 01.04.07
supervisors.fio: Брунков П. Н.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика конденсированного состояния
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Гудовских А. С.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Физика конденсированного состояния
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Шейнерман А. Г.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: РГПУ им. А.И. Герцена, Герценовский университет
protection_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена"
protection_organization.ogrn: 1027809233429
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: УНИВЕРСИТЕТ ИТМО; НИУ ИТМО; ИТМО
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИТМО"
author_organization.ogrn: 1027806868154
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения