name: Модификация характеристик полупроводниковых структур и лазеров на их основе методом прямой ионно-лучевой литографии
keyword_list: ионно-лучевое травление, сфокуссированный пучок, квантово-каскадный лазер, модификация характеристик лазеров, фотолюминесценция
abstract: Цель работы
  Целью данной работы является развитие метода прямой ионно-лучевой
  литографии для изготовления опытных образцов одночастотных квантовокаскадных лазеров с резонатором Фабри-Перо и поверхностно излучающих
  кольцевых квантово-каскадных лазеров диапазона длин волн 7-8 мкм.
  Задачи работы
  Исследование влияния процессов ионно-лучевого травления на образование
  радиационных дефектов в приборных полупроводниковых гетероструктурах
  на основе AlGaAs/GaAs; разработка технологических режимов ионно-лучевой
  литографии на непланарных металлизированных поверхностях
  полупроводниковых гетероструктур; разработка технологии изготовления
  методом прямой ионно-лучевой литографии экспериментальных образцов
  одночастотных квантово-каскадных лазеров с длиной волны генерации в
  диапазоне 7-8 мкм и образцов поверхностно излучающих кольцевых квантовокаскадных лазеров диапазона длин волн 7-8 мкм методом ионно-лучевой
  литографии.
  Результаты диссертационного исследования
  В ходе диссертационной работы было проведено экспериментальное
  исследование влияния технологии прямой ионной литографии на
  люминесцентные характеристики полупроводниковых гетероструктур
  используемых для изготовления инжекционных лазеров. Обнаружено
  тушение фотолюминесценции, вызванное радиационными дефектами,
  возникающими в процессе ионно-лучевого травления. Были определены
  режимы термического восстановления люминесцентных характеристик,
  позволяющие интегрировать метод прямой ионной литографии в
  технологические цепочки формирования современных полупроводниковых
  приборов на основе соединений A3B5. Создан научно-технический задел для
  натурного моделирования новых конструкций квантово-каскадных лазеров с
  субволновыми элементами резонатора с помощью прямой ионно-лучевой 
  литографии. Показана возможность целенаправленного формирования
  модового состава излучения квантово-каскадного лазера. Реализован новый
  метод вывода излучения из кольцевого лазера за счет формирования
  текстурированных поверхностей.
chairman_dissertation_council.name: Алексей
chairman_dissertation_council.surname: Романов
chairman_dissertation_council.patronymic: Евгеньевич
chairman_dissertation_council.position: профессор (квалификационная категория "ведущий профессор"), факультет лазерной фотоники и оптоэлектроники
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: 7202768874
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 7202768874
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Владимир
organization_supervisor.surname: Васильев
organization_supervisor.patronymic: Николаевич
organization_supervisor.position: ректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.35.31
rubrics.name: Лазеры
rubrics.code: 29.33.15
rubrics.name: Оптические квантовые генераторы и усилители (лазеры)
oecds.code: 02.11.XQ
oecds.name: SPECTROSCOPY
oecds.code: 01.03.UB
oecds.name: PHYSICS, APPLIED
oecds.code: 01.03.SY
oecds.name: OPTICS
speciality_codes.name: Квантовая электроника
speciality_codes.code: 05.27.03
supervisors.fio: Евтихиев В.П.
supervisors.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Квантовая электроника
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Асрян Л.В.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Квантовая электроника
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Савельев А.В.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Квантовая электроника
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: УНИВЕРСИТЕТ ИТМО; НИУ ИТМО; ИТМО
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИТМО"
protection_organization.ogrn: 1027806868154
protection_organization.supervisor_name: ВЛАДИМИР
protection_organization.supervisor_surname: ВАСИЛЬЕВ
protection_organization.supervisor_patronymic: НИКОЛАЕВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: УНИВЕРСИТЕТ ИТМО; НИУ ИТМО; ИТМО
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИТМО"
author_organization.ogrn: 1027806868154
author_organization.supervisor_name: ВЛАДИМИР
author_organization.supervisor_surname: ВАСИЛЬЕВ
author_organization.supervisor_patronymic: НИКОЛАЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения