name: Атомно-слоевое осаждение и свойства сегнетоэлектрических структур на основе легированных лантаном HfO2 и Hf0,5Zr0,5O2
keyword_list: Атомно-слоевое осаждение кристаллическая структура сегнетоэлектрические свойства сверхтонкие пленки энергозапасающие свойства плёнок
abstract: Разработан радикало-стимулированный TiCl4/NH3 процесс, позволяющий получать сверхтонкие (≤3 нм) сплошные плёнки TiN при температуре 320°С.
  Установлена зависимость структурных и сегнетоэлектрических свойств плёнок (La2O3)x(HfO2)1-x с x=1 мол. % от температуры быстрого термического отжига в диапазоне 400-500°С. Установлена зависимость кристаллической структуры и сегнетоэлектрических свойств плёнок тройной (La2O3)x(Hf0,5Zr0,5O2)1-x системы от состава (х) в диапазоне x=0-2 мол. %. Установлена зависимость энергозапасающих свойств плёнок тройной (La2O3)x(Hf0,5Zr0,5O2)1-x системы от состава (х) в диапазоне x=0 2 мол. %.
  Установлена зависимость химико-структурных и электрических характеристик рутений-содержащих слоёв, полученных в радикало-стимулированном Ru(EtCp)2/O* АСО-процессе, при изменении температуры осаждения от 200°С до 340°С.
chairman_dissertation_council.name: Евгений
chairman_dissertation_council.surname: Шешин
chairman_dissertation_council.patronymic: Павлович
chairman_dissertation_council.position: заместитель заведующего кафедрой вакуумной электроники
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: L-7775-2013
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 35617320000
chairman_dissertation_council.rinc_id: 21682
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Виталий
organization_supervisor.surname: Баган
organization_supervisor.patronymic: Анатольевич
organization_supervisor.position: проректор по научной работе
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 29.19.22
rubrics.name: Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
oecds.code: 01.03.UB
oecds.name: PHYSICS, APPLIED
speciality_codes.name: Физика конденсированного состояния
speciality_codes.code: 01.04.07
supervisors.fio: Маркеев А.М.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Физика конденсированного состояния
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
protection_organization.short_name: МФТИ, ФИЗТЕХ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
protection_organization.ogrn: 1027739386135
protection_organization.supervisor_name: ДМИТРИЙ
protection_organization.supervisor_surname: ЛИВАНОВ
protection_organization.supervisor_patronymic: ВИКТОРОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: МФТИ, ФИЗТЕХ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
author_organization.ogrn: 1027739386135
author_organization.supervisor_name: ДМИТРИЙ
author_organization.supervisor_surname: ЛИВАНОВ
author_organization.supervisor_patronymic: ВИКТОРОВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения