name: СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ ТИТАНАТА-СТАННАТА И ТИТАНАТА-ЦИРКОНАТА БАРИЯ ДЛЯ СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫХ ПРИМЕНЕНИЙ
keyword_list: Сегнетоэлектрик Твердые растворы Титанат-станнат бария Титанат-цирконат бария Сверхвысокие частоты
abstract: Работа посвящена изучению физико-химических процессов, протекающих при формировании многокомпонентных сегнетоэлектрических (СЭ) пленочных материалов, исследованию их структурных и электрических свойств в зависимости от технологических параметров и разработке технологии многослойных сегнетоэлектрических структур для сверхвысокочастотных применений.
  В работе исследуются новые пленочные материалы для СВЧ применений – твердые растворы титаната-цирконата и титаната-станната бария. Изучены начальные стадии роста пленок твердых растворов, их структурные и электрические свойства в зависимости от технологических параметров формирования слоев с целью минимизации дефектов структуры и достижения наилучших электрофизических характеристик материала. Разработаны технологические подходы получения многослойных емкостных структур на основе исследуемых пленок, проявляющих рекордные на сегодня величины диэлектрической нелинейности в сверхвысокочастотном диапазоне (СВЧ).
  В работе реализован новый подход к разработке технологии многослойных сегнетоэлектрических структур, который заключается, во-первых, в управлении потоками компонентов, приходящих на подложку и процессами роста пленок, во-вторых, в контроле процессов возникновения вторичных многокомпонентных фаз на подложке, в-третьих, во всестороннем исследовании структурных свойств пленок и электрофизических характеристик многослойных устройств на их основе и их связи с технологическими параметрами.
  В результате исследований, проведенных в работе, создана технология многослойных СВЧ структур, на основе многокомпонентных сегнетоэлектрических пленок титаната-цирконата и титаната-станната бария, что открывает новые возможности для реализации сверхвысокочастотных устройств с характеристиками (управляемость, вносимые потери, быстродействие, мощностные характеристики), принципиально лучшими по сравнению с существующими аналогами.
chairman_dissertation_council.name: Виктор
chairman_dissertation_council.surname: Лучинин
chairman_dissertation_council.patronymic: Викторович
chairman_dissertation_council.position: Заведующий кафедрой
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: 0
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 6701446103
chairman_dissertation_council.rinc_id: 37314
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Виктор
organization_supervisor.surname: Шелудько
organization_supervisor.patronymic: Николаевич
organization_supervisor.position: ректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 29.19.16
rubrics.name: Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
rubrics.code: 29.19.35
rubrics.name: Сегнетоэлектрики и антисегнетоэлектрики
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
speciality_codes.name: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
speciality_codes.code: 05.27.06
supervisors.fio: Тумаркин А.В.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Воротилов К.А.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Залесский В.Г.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
protection_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. В.И. Ульянова (Ленина)"
protection_organization.ogrn: 1027806875381
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
author_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. В.И. Ульянова (Ленина)"
author_organization.ogrn: 1027806875381
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения