name: Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур
keyword_list: Микросферная фотолитография селективная эпитаксия A3B5 на Si травление Si МПЭ A3B5 InAs на Si GaN/InGaN/GaN на Si GaP на Si
abstract: Диссертационная работа представляет собой комплексное исследование, направленное на развитие физико-технологических основ селективной гетероэпитаксии. Для решения проблемы рассогласования решёток подложки и ростового материала в работе был предложен и развит легко масштабируемый метод микросферной фотолитографии, позволяющей достигать субволнового пространственного разрешения. В диссертационной работе представлено теоретическое описание и численное моделирование оптических и фотохимических процессов микросферной фотолитографии. Экспериментально проведено исследование процесса микросферной фотолитографии через массив микросфер на подложке кремния используя разные источники экспонирования в ультрафиолетовой и глубокой ультрафиолетовой области спектра, а также подобрано поверхностно-активное вещество неонол для повышения адгезии микросфер к поверхности резиста. В работе развиты методы изготовления текстурированных подложек SiOx/Si и продемонстрирован эпитаксиальный синтез гексагонально-упорядоченных наноструктур соединений GaP, GaN, GaN/InGaN, InAs на SiOx/Si(111) с контролируемой поверхностной плотностью и морфологией. В завершении диссертационной работы с помощью постростовых технологий представлены результаты создания свето- и фотодиодных структур на основе ННК p-GaN/i-InGaN/n-GaN и ННК InAs, продемонстрирована работоспособность вышеописанных методов для синтеза упорядоченных полупроводниковых наноструктур.
chairman_dissertation_council.name: Владимир
chairman_dissertation_council.surname: Курочкин
chairman_dissertation_council.patronymic: Ефимович
chairman_dissertation_council.position: руководитель научного направления
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: AAU-5275-2021
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 35615527200
chairman_dissertation_council.rinc_id: 22692
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0001-8743-9507
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Анатолий
organization_supervisor.surname: Евстрапов
organization_supervisor.patronymic: Александрович
organization_supervisor.position: директор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 59.01.77
rubrics.name: Методы исследования и моделирования. Математические и кибернетические методы
rubrics.code: 29.31.15
rubrics.name: Излучение и волновая оптика
rubrics.code: 29.19.31
rubrics.name: Полупроводники
oecds.code: 01.03.UB
oecds.name: PHYSICS, APPLIED
oecds.code: 01.03.SY
oecds.name: OPTICS
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Приборы и методы экспериментальной физики
speciality_codes.code: 1.3.2.
supervisors.fio: Мухин И.С.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Приборы и методы экспериментальной физики
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Новиков А.В.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Целиков Г.И.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ИАП РАН
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ АНАЛИТИЧЕСКОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
protection_organization.ogrn: 1027810289980
protection_organization.supervisor_name: АНАТОЛИЙ
protection_organization.supervisor_surname: ЕВСТРАПОВ
protection_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: СПБАУ РАН ИМ. Ж.И. АЛФЕРОВА, АКАДЕМИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Ж.И. АЛФЕРОВА, АЛФЕРОВСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ "САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ АКАДЕМИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ Ж.И. АЛФЕРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
author_organization.ogrn: 1027802511879
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения