name: Имитационное моделирование динамических особенностей системы управления технологическим процессом выращивания монокристаллов по методу Чохральского
keyword_list: ИМИТАЦИОННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ, ДИНАМИКА, МЕТОД ЧОХРАЛЬСКОГО, СЛУЧАЙНЫЕ ПРОЦЕССЫ, ВИРТУАЛЬНАЯ ЛАБОРАТОРИЯ
abstract: Цель: разработка научно обоснованных рекомендаций по модернизации режимов управления технологическим процессом выращивания монокристаллов по методу Чохральского для уменьшения и выравнивания флюктуаций важнейших выходных параметров кристалла и параметров технологического процесса. Разработана двухзвенная динамическая модель для имитационного моделирования процесса выращивания монокристаллов по методу Чохральского с разнородными описаниями моделей звеньев.Объяснен экстремальный характер изменений флюктуаций моделируемых выходных параметров как системы с переменной динамикой и использования введенной двухзвенной модели. Разработаны алгоритмы и программы виртуальной лаборатории как инструмент имитационного моделирования процесса. Разработана виртуальная лаборатория как инструмент имитационного моделирования процесса выращивания монокристаллов по методу Чохральского для повышения качества подготовки специалистов в области управления технологическими процессами в микроэлектронике. Результаты расширяют возможный состав обучаемых, эргономичность и эффективность обучения при отсутствии расходов на электроэнергию, уменьшении расходов на амортизацию (в 24 раза), отсутствии расходных материалов, снижении категории безопасности работы.
chairman_dissertation_council.surname: Штерн Ю. И.
chairman_dissertation_council.position: Профессор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
organization_supervisor.surname: Беспалов В. А.
organization_supervisor.position: Ректор
organization_supervisor.degree: Доктор технических наук
rubrics.code: 50.47.02
rubrics.name: Общие проблемы
rubrics.code: 50.53.15
rubrics.name: Автоматизация процессов проведения научных экспериментов
oecds.code: 01.02.EV
oecds.name: COMPUTER SCIENCE, INTERDISCIPLINARY APPLICATIONS
oecds.code: 01.01.XY
oecds.name: STATISTICS & PROBABILITY
oecds.code: 01.01.PN
oecds.name: MATHEMATICS, APPLIED
speciality_codes.name: Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)
speciality_codes.code: 05.13.06
supervisors.fio: Трояновский В.М.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Бахтадзе Н.Н.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Теплова Я. О.
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: МИЭТ;  Национальный исследовательский университет "МИЭТ"; НИУ МИЭТ
protection_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
protection_organization.ogrn: 1027739615584
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: МИЭТ;  Национальный исследовательский университет "МИЭТ"; НИУ МИЭТ
author_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
author_organization.ogrn: 1027739615584
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения