name: Магнетронная технология изготовления и электрические свойства мемристора на основе смешанных оксидов металлов
keyword_list: Тонкие плёнки Смешанные оксиды металлов Мемристор Магнетронное распыление Кросс-бар
abstract: Цель работы – разработка технологии изготовления мемристора на основе тонкой плёнки смешанных оксидов металлов. Исследованы режимы реактивного магнетронного распыления; разработан метод изготовления плёнок смешанных оксидов прогнозируемого состава; исследованы морфология, оптические спектры, равномерность состава плёнок по толщине; изготовлены образцы с разным составом активного слоя и измерены их электрические свойства. Технология позволяет воспроизводимо изготавливать мемристоры. Обнаружена оптимальная доля примеси алюминия в диоксиде титана.
chairman_dissertation_council.name: Ахмед
chairman_dissertation_council.surname: Кармоков
chairman_dissertation_council.patronymic: Мацевич
chairman_dissertation_council.position: Заместитель председателя диссертационного совета
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: U-4149-2017
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 6508155405
chairman_dissertation_council.rinc_id: 248531
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Светлана
organization_supervisor.surname: Хаширова
organization_supervisor.patronymic: Юрьевна
organization_supervisor.position: И.о. проректора по научно-исследовательской работе
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.59.34
rubrics.name: Прочие электронные элементы радиоэлектронной аппаратуры
rubrics.code: 47.13.07
rubrics.name: Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
rubrics.code: 29.19.33
rubrics.name: Диэлектрики
rubrics.code: 29.19.22
rubrics.name: Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
rubrics.code: 29.19.16
rubrics.name: Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
oecds.code: 02.10.NS
oecds.name: NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
oecds.code: 02.05.QG
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
oecds.code: 01.03.UB
oecds.name: PHYSICS, APPLIED
speciality_codes.name: Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика
speciality_codes.code: 01.04.15
supervisors.fio: Удовиченко С.Ю.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика плазмы
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Троян П.Е.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Физическая электроника
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Андреева Н.В.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Лазерная физика
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: КБГУ
protection_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова"
protection_organization.ogrn: 1020700739234
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ФГАОУ ВО "Тюменский государственный университет", Тюменский государственный университет, ТюмГУ
author_organization.name: Федеральное  государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Тюменский государственный университет"
author_organization.ogrn: 1027200780749
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения