name: Микроструктура монокристаллов карбида кремния по данным рентгеновского фазово-контрастного изображения и топографии в синхротронном излучении
keyword_list: синхротронное излучение карбид кремния топография микроструктура
abstract: В рамках исследований, выполненных на установках класса “мегасайенс”, а именно на синхротронных источниках, получен целый ряд научных результатов, представляющих большой интерес для научного сообщества и имеющих практическую значимость для развития наноэлектроники на основе карбида кремния.Разработан метод компьютерного моделирования фазово-контрастных изображений для определения сечений микропор в объеме монокристалла, что позволяет использовать пучки синхротронного излучения с относительно большой шириной спектра. Эффективность метода показана на примере исследований микроструктуры монокристаллов карбида кремния.  Выявлены новые морфологические особенности в монокристаллах карбида кремния, такие как изменения сечений и формы дислокационных микротрубок, и предложено объяснение этих особенностей с учетом реакций между дислокациями, содержащимися в микротрубках. В части исследования различных политипов карбида кремния, был обнаружен эффект образования пор на границах включений инородных политипов, являющихся результатом притяжения трубок к границам включений и взаимодействия поля упругой деформации включения с дислокациями внутри трубок. Изучены процессы эволюции дислокаций в политипно-однородных кристаллах карбида кремния и показано, что они протекают при взаимодействии микротрубок между собой и с дислокациями со сплошным ядром. Определены условия получения качественных кристаллов карбида кремния методом свободного распространения за пределы кристалла-затравки и показана роль отсутствия паразитных политипов в снижении плотности дислокаций. Изучение слоев нитрида алюминия, выращенных на подложке карбида кремния с последующим испарением подложки, показало формирование мозаичной дислокационной структуры в нитриде алюминия в результате релаксации напряжений несоответствия. Показано снижение плотности дислокаций на 4-5 порядков в слоях нитрида алюминия по сравнению с нитридом галлия.
chairman_dissertation_council.name: Юрий
chairman_dissertation_council.surname: Кусраев
chairman_dissertation_council.patronymic: Георгиевич
chairman_dissertation_council.position: руководитель отделения
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: C-8427-2014
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 57189506285
chairman_dissertation_council.rinc_id: 20479
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Сергей
organization_supervisor.surname: Иванов
organization_supervisor.patronymic: Викторович
organization_supervisor.position: директор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 29.19.25
rubrics.name: Взаимодействие проникающего излучения с твердыми телами
rubrics.code: 29.19.19
rubrics.name: Методы исследования кристаллической структуры и динамики решетки
rubrics.code: 29.19.04
rubrics.name: Структура твердых тел
rubrics.code: 29.19.31
rubrics.name: Полупроводники
rubrics.code: 29.19.11
rubrics.name: Дефекты кристаллической структуры
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Физика конденсированного состояния
speciality_codes.code: 01.04.07
opponents.fio: Бугров В. Е.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Лебедев А. А.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Кукушкин С. А.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика конденсированного состояния
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ФТИ ИМ. А.Ф. ИОФФЕ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. А.Ф. ИОФФЕ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
protection_organization.ogrn: 1037804006998
protection_organization.supervisor_name: СЕРГЕЙ
protection_organization.supervisor_surname: ИВАНОВ
protection_organization.supervisor_patronymic: ВИКТОРОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ФТИ ИМ. А.Ф. ИОФФЕ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. А.Ф. ИОФФЕ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
author_organization.ogrn: 1037804006998
author_organization.supervisor_name: СЕРГЕЙ
author_organization.supervisor_surname: ИВАНОВ
author_organization.supervisor_patronymic: ВИКТОРОВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения