name: Метод трехмерной визуализации внутренней структуры слитка мультикристаллического кремния по изображениям фотолюминесценции поверхности пластин
keyword_list: ТРЕХМЕРНОЕ ИЗОБРАЖЕНИЕ, МУЛЬТИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ, ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ, ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫЙ КОМПЛЕКС, НАПРАВЛЕННАЯ КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ
abstract: Цель: разработать метод визуализации внутренней структуры блока и слитка мультикристаллического кремния по изображениям фотолюминесценции поверхности пластин. Разработан программно-аппаратный комплекс для автоматизированного построения трехмерных изображений и исследования распределения дефектов по объему слитков мультикристаллического кремния. Сравнительный анализ трехмерных изображений нескольких десятков слитков, полученных при различных условиях (тип сырья, состав покрытия тигля, время и температурный режим этапов процесса кристаллизации), позволяет выделить характерные условия процесса направленной кристаллизации для снижения количества дефектов в слитках. Разработанный метод является инструментом для коррекции условий проведения последующих процессов кристаллизации без разрушения исследуемых слитков и пластин.
chairman_dissertation_council.surname: Чиркин М.В.
chairman_dissertation_council.position: ректор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
organization_supervisor.surname: Чиркин М. В.
organization_supervisor.position: ректор
organization_supervisor.degree: Доктор физико-математических наук
rubrics.code: 29.19.11
rubrics.name: Дефекты кристаллической структуры
rubrics.code: 29.19.19
rubrics.name: Методы исследования кристаллической структуры и динамики решетки
oecds.code: 02.05.QF
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, CHARACTERIZATION & TESTING
oecds.code: 01.02.EW
oecds.name: COMPUTER SCIENCE, SOFTWARE ENGINEERING
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Приборы и методы экспериментальной физики
speciality_codes.code: 01.04.01
supervisors.fio: Карабанов С.М.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Волков С.С.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физическая электроника
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Анкудинов А.В.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Приборы и методы экспериментальной физики
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ФГБОУ ВО "РГРТУ", РГРТУ
protection_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина"
protection_organization.ogrn: 1026201104478
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ФГБОУ ВО "РГРТУ", РГРТУ
author_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина"
author_organization.ogrn: 1026201104478
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения