name: Оптические и морфологические свойства микроструктур, полученных методом DLW-STED-фотолитографии
keyword_list: DLW-STED-фотолитография DLW-фотолитография STED Двухфотонная фотополимеризация Фотоника 3D-микроструктуры
abstract: Развитие методов создания фотонных микроструктур и комплексного исследования их оптических и морфологических свойств является актуальной научной задачей. За последние время было продемонстрировано множество различных пассивных и активных фотонных микроструктур, в том числе интегрированных на фотонных интегральных схемах (ФИС, англ.PIC). Большая часть данных объектов реализована с помощью планарных технологий. Однако использование вместо планарных структур 3D микро и наноструктур, интегрированных в архитектуру ФИС, не только позволяют упростить топологию схем, но и добиться большей эффективности фотонного устройства. 3D-микроструктуры активно исследуются научным сообществом и вне состава ФИС. В качестве одного из наиболее подходящих методов стереолитографии для создания 3D-микроструктур и элементов ФИС в диссертации рассмотрен метод двухфотонной фотополимеризации (Direct Laser Writing), совмещенный с методикой гашения возбуждения вынужденным излучением (STimulated Emission Depletion), также известный как DLW-STED-фотолитография. Данный подход позволяет получить элементы создаваемых структур с размерами от 40 до 100 нм, что более чем 8 раз меньше длины волны излучения, инициирующего реакцию фотополимеризации.
chairman_dissertation_council.name: Николай
chairman_dissertation_council.surname: Колачевский
chairman_dissertation_council.patronymic: Николаевич
chairman_dissertation_council.position: Директор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Член-корреспондент РАН
chairman_dissertation_council.wos_research_id: D-2448-2013
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 57156697700
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Николай
organization_supervisor.surname: Колачевский
organization_supervisor.patronymic: Николаевич
organization_supervisor.position: Директор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 29.33.25
rubrics.name: Нелинейные оптические свойства сред
rubrics.code: 29.33.39
rubrics.name: Оптические явления в волноводах и тонких пленках. Интегральные оптические схемы
rubrics.code: 29.31.27
rubrics.name: Взаимодействие оптического излучения с веществом
rubrics.code: 29.31.23
rubrics.name: Люминесценция
rubrics.code: 29.31.29
rubrics.name: Формирование оптического изображения. Оптические приборы и оптические методы измерений
oecds.code: 01.03.SY
oecds.name: OPTICS
speciality_codes.name: Оптика
speciality_codes.code: 01.04.05
supervisors.fio: Чубич Д.А.
supervisors.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Лазерная физика
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
supervisors.fio: Витухновский А.Г.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Оптика
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Першин С.М.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Лазерная физика
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Бутов О.В.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Лазерная физика
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ФИАН
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФИЗИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. П.Н. ЛЕБЕДЕВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
protection_organization.ogrn: 1027739617960
protection_organization.supervisor_name: НИКОЛАЙ
protection_organization.supervisor_surname: КОЛАЧЕВСКИЙ
protection_organization.supervisor_patronymic: НИКОЛАЕВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: МФТИ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
author_organization.ogrn: 1027739386135
author_organization.supervisor_name: НИКОЛАЙ
author_organization.supervisor_surname: КУДРЯВЦЕВ
author_organization.supervisor_patronymic: НИКОЛАЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения