name: Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур
keyword_list: деформация механические напряжения геоморфометрия мембрана прогиб ЦМР кривизна топография рельеф поверхность
abstract: Целью диссертационной работы являлась разработка и использование комплекса методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик пленок на подложках и тонкопленочных мембран. Научная новизна: (1). Разработан комплекс методик для определения кривизны и формы поверхности пластин и структур, в том числе по ее цифровой модели рельефа (ЦМР), позволяющий: формировать и анализировать ЦМР поверхности пластин на оптическом профилометре по разреженной сетке данных; определять одно значение кривизны для близких к сферической форме объектов; рассчитывать вторые частные производные; рассчитывать полную систему кривизн поверхности. (2). Разработаны методики анализа рельефа тонкопленочных структур, с использованием геоморфометрии, позволяющие выявлять основные морфологические особенности поверхности. (3). Разработана оперативная неразрушающая методика анализа прогиба расположенных на пластине мембран. Методика позволяет определять прогиб каждой мембраны, проводить типизацию мембран, выводить наглядную карту данных (тип мембраны, величина прогиба, направление изгиба). (4). Разработана методика определения механических характеристик тонкопленочных мембран посредством метода выдувания с учетом их начального прогиба. Методика позволяет: проводить контроль формы, площади, прогиба мембраны – как до проведения испытаний, так и в процессе реализации выдувания; минимизировать влияние крепления мембран при проведении испытаний; определять площадь поверхности мембраны и проводить расчет прогиба с учетом этой площади.
chairman_dissertation_council.name: Юрий
chairman_dissertation_council.surname: Штерн
chairman_dissertation_council.patronymic: Исаакович
chairman_dissertation_council.position: Профессор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Доцент
chairman_dissertation_council.wos_research_id: E-2614-2014
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 25229239500
chairman_dissertation_council.rinc_id: 134726
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0003-3882-389X
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Владимир
organization_supervisor.surname: Беспалов
organization_supervisor.patronymic: Александрович
organization_supervisor.position: Ректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 90.27.37
rubrics.name: Оптические и оптико-физические измерения
rubrics.code: 29.19.16
rubrics.name: Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
rubrics.code: 29.19.13
rubrics.name: Механические свойства твердых тел
rubrics.code: 29.31.29
rubrics.name: Формирование оптического изображения. Оптические приборы и оптические методы измерений
rubrics.code: 59.45.37
rubrics.name: Приборы для неразрушающего контроля изделий и материалов оптическим методом
oecds.code: 02.11.UE
oecds.name: IMAGING SCIENCE & PHOTOGRAPHIC TECHNOLOGY
oecds.code: 02.05.QG
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
oecds.code: 02.05.QF
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, CHARACTERIZATION & TESTING
oecds.code: 02.10.NS
oecds.name: NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
speciality_codes.name: Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
speciality_codes.code: 05.11.13
supervisors.fio: Штерн М.Ю.
supervisors.scientific_degree: Кандидат технических наук
supervisors.speciality_code: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Владимиров А.П.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Краснобородько С.Ю.
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИЭТ"; НИУ МИЭТ;МИЭТ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
protection_organization.ogrn: 1027739615584
protection_organization.supervisor_name: ВЛАДИМИР
protection_organization.supervisor_surname: БЕСПАЛОВ
protection_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИЭТ"; НИУ МИЭТ;МИЭТ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
author_organization.ogrn: 1027739615584
author_organization.supervisor_name: ВЛАДИМИР
author_organization.supervisor_surname: БЕСПАЛОВ
author_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения