name: Микроакселерометр на поверхностных акустических волнах с кольцевым резонатором на анизотропном материале
keyword_list: МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТР, ПОВЕРХНОСТНО АКУСТИЧЕСКАЯ ВОЛНА, РЕЗОНАТОР, ВСТРЕЧНО-ШТЫРЕВОЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ, КВАРЦ ST-СРЕЗ, НИОБАТ ЛИТИЯ YX-128˚
abstract: Разработана новая конструкция микроакселерометра на поверхностных акустических волнах с кольцевым резонатором на анизотропном материале, способного выдерживать и измерять ударные воздействия в сотни g. Выявлено, что чувствительный элемент микромеханического акселерометра на поверхностных акустических волнах из кварца ST-среза отличается более широким диапазоном измеряемых ускорений и более высоким порогом чувствительности, чем чувствительный элемент из ниобата лития среза YX-128˚ при равных условиях. Исследована возможность повышения порога чувствительности датчика, и рассчитаны оптимальные соотношения размеров чувствительных элементов и инерционных масс. Выявлено, что размещение топологии резонатора на противоположных сторонах чувствительного элемента микромеханического акселерометра на поверхностных акустических волнах по окружности вблизи места крепления чувствительного элемента к корпусу и расположение инерционной массы цилиндрической формы по центру чувствительного элемента при соотношении их радиусов 3/5 приводит к повышению пороговой чувствительности. Предложена топология резонатора с неэквидистантным встречно-штыревым преобразователем для учета анизотропии материала чувствительного элемента. Сужение амплитудно-частотной характеристики резонатора чувствительного элемента акселерометра достигается применением неэквидистантного встречно-штыревого преобразователя для компенсации анизотропии материала чувствительного элемента и выбором апертуры в соответствии с размером резонатора. Разработана методика расчета микромеханического акселерометра на поверхностных акустических волнах с кольцевым ВШП-резонатором на анизотропном материале.
chairman_dissertation_council.surname: Филатов Ю. В.
chairman_dissertation_council.position: Заведующий кафедрой
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
organization_supervisor.surname: Шелудько В. Н.
organization_supervisor.position: Ректор
organization_supervisor.degree: Доктор технических наук
rubrics.code: 59.14.21
rubrics.name: Проектирование и конструирование электронных измерительных приборов
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
speciality_codes.name: Приборы навигации
speciality_codes.code: 05.11.03
supervisors.fio: Боронахин А.М.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Приборы навигации
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Грязин Д.Г.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Приборы навигации
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Пономарев В.К.
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Приборы навигации
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
protection_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. В.И. Ульянова (Ленина)"
protection_organization.ogrn: 1027806875381
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
author_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. В.И. Ульянова (Ленина)"
author_organization.ogrn: 1027806875381
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения