name: Гибридно-монолитные интегральные схемы СВЧ
keyword_list: ГМИС СВЧ; ВЧ-напыление слоев SiO2 и Ta2O5; Сапфировый технологический базис; Усилительные преобразовательныеи генераторные ГМИС СВЧ;  ГМИС СВЧ на алмазе, в том числе поверхностного монтажа; Плазмохимическое травлениеотверстий в алмазе.
abstract: Работа посвящена созданию интегральных схем СВЧ нового типа – гибридно-монолитных интегральных схем СВЧ (ГМИС СВЧ) для малогабаритной бортовой радиоэлектронной аппаратуры с высокими СВЧ параметрами и надежностью. ГМИС СВЧ наряду с ГИС и МИС СВЧ стали неотъемлемой частью отечественной электронной компонентной базы СВЧ (ЭКБ СВЧ). Разработана и на практике применена концепция создания ГМИС СВЧ с высокими СВЧ параметрами и надежностью, и малыми массогабаритными характеристиками с организацией их промышленного производства. Впервые в отечественной и зарубежной практике найдена оригинальная конструкция ГМИС СВЧ  на основе подвешенной КЛ и монолитной сапфировой платы, содержащей все пассивные элементы (R, L, C), линии, выводы, обеспечивающая высокие СВЧ параметры и надежность, и улучшение более 3 раз массогабаритных характерис¬тик, по сравнению с аналогичными ГИС СВЧ. Оптимизированы процессы нанесения диэлектрических слоев SiO2 и Ta2O5, и впервые разработан технологический процесс изготовления монолитной сапфировой платы ГМИС СВЧ по групповой планарной технологии и прецизионной литографии обеспечивший создание сапфирового технологического базиса и промышленное производство ГМИС СВЧ. Создан полнофункциональный ряд промышленных усилительных,  преобразовательных и генераторных ГМИС СВЧ диапазона 0.4…20 ГГц с выходной мощностью до 100 мВт, и ряд усилительных ГМИС СВЧ диапазона 2…18 ГГц с выходной мощностью до 600 мВт на GaAs ПТШ и МИС СВЧ. Впервые в отечественной и зарубежной практике созданы мощные усилительные ГМИС СВЧ на алмазе, в том числе поверхностного монтажа, оптимизирован процесс плазмохимического травления отверстий в алмазной плате, создан технологический процесс изготовления монолитной алмазной платы и объемной алмазной крышки по групповой планарной технологии и прецизионной литографии. Показана перспектива создания ППМ АФАР с архитектурой 3D на ГМИС СВЧ и перспектива создания МИС СВЧ на алмазе.
chairman_dissertation_council.surname: Панас А. И.
chairman_dissertation_council.position: Заместитель председателя диссертационного совета, Заместитель директора по научной работе
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
organization_supervisor.surname: Истомин Е. В.
organization_supervisor.position: Исполнительный директор - 1-й заместитель генерального директора
rubrics.code: 47.14.13
rubrics.name: Проектирование и конструирование изделий электронной техники СВЧ-диапазона
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
speciality_codes.name: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
speciality_codes.code: 05.27.01
opponents.fio: Гамкрилидзе С. А.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Журавлев К. С.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: АО "НПП "Исток" им. Шокина"
protection_organization.name: Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Исток" имени А.И. Шокина"
protection_organization.ogrn: 1135050007400
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Государственная корпорация по содействию разработке, производству и экспорту высокотехнологичной промышленной продукции "Ростех"
protection_organization.okopf: Акционерные общества
author_organization.short_name: АО "НПП "Исток" им. Шокина"
author_organization.name: Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Исток" имени А.И. Шокина"
author_organization.ogrn: 1135050007400
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Государственная корпорация по содействию разработке, производству и экспорту высокотехнологичной промышленной продукции "Ростех"
author_organization.okopf: Акционерные общества