name: Разработка и исследование кольцевого микрооптоэлектромеханического преобразователя угловой скорости на основе оптического туннелирования
keyword_list: МИКРООПТОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ, УГЛОВАЯ СКОРОСТЬ, ОПТИЧЕСКОЕ ТУННЕЛИРОВАНИЕ, КОЛЬЦЕВОЙ РЕЗОНАТОР, ОПТИЧЕСКОЕ СЧИТЫВАНИЕ
abstract: Разработан микрооптоэлектромеханический (МОЭМ) датчик угловой скорости с кольцевым резонатором, в котором использованы оптический съем информации на основе оптического туннельного эффекта (ОТЭ), блок обработки и коррекции, что обеспечило повышение точности, уменьшение влияния линейных ускорений и измерение малых угловых скоростей. Предложены функциональные схемы одно- и трехосевого кольцевого МОЭМ-преобразователя угловых скоростей на основе ОТЭ, обеспечивающие регистрацию наноперемещений  кольцевого резонатора. Произведены скорректированные математические модели изменения зазора для различных точек оптического пятна модулятора на основе ОТЭ при деформации кольцевого резонатора эллиптического типа в 1-м режиме и при действии угловой скорости, что уменьшает погрешность расчетов кольцевого МОЭМ-преобразователя угловых скоростей. Проведено экспериментальное исследование характеристик модуля съема информации на основе ОТЭ с помощью пьезоэлектрического преобразователя для использования аналитических зависимостей при расчете квазилинейной функции преобразования. Предложены алгоритмы коррекции изменения чувствительности при действии линейного ускорения, позволяющие уменьшить дополнительные погрешности преобразователя угловых скоростей без введения дополнительных средств измерения. Разработана методика расчета кольцевого МОЭМ-преобразователя угловых скоростей на основе ОТЭ.
chairman_dissertation_council.surname: Кузнецов О. П.
chairman_dissertation_council.position: Главный научный сотрудник
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
organization_supervisor.surname: Новиков Д. А.
organization_supervisor.position: Директор института
organization_supervisor.degree: Доктор технических наук
rubrics.code: 50.09.37
rubrics.name: Датчики и преобразователи
rubrics.code: 90.01.85
rubrics.name: Автоматизация и автоматизированные системы в метрологии
oecds.code: 02.02.00
oecds.name: Electrical eng, electronic eng
oecds.code: 01.03.00
oecds.name: Physical sciences and astronomy
speciality_codes.name: Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления
speciality_codes.code: 05.13.05
supervisors.fio: Бусурин В. И.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Васюков С. А.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Мышляев Ю. И.
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Системный анализ, управление и обработка информации (по отраслям)
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ИПУ РАН
protection_organization.name: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова Российской академии наук
protection_organization.ogrn: 1037739269590
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: МАИ
author_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)"
author_organization.ogrn: 1037739180820
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения