name: Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства
keyword_list: фазовый переход, ширина запрещенной зоны оксинитрид титана магнетронное распыление смачиваемость
abstract: Работа выполнена в Исследовательской школе физики высокоэнергетических процессов Национального исследовательского Томского политехнического университета под руководством д.ф.-м.н. Пичугина В.Ф., профессор Исследовательской школе физики высокоэнергетических процессов Томского политехнического университета.
  Официальным оппонентами выбраны Клопотов А.А., д.ф.-м.н., Томский государственный архитектурно-строительный университет, профессор кафедры прикладной механики и материаловедения; Михайлов М.М., д.ф.-м.н., Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, профессор, заведующий лабораторией радиационного и космического материаловедения.
  В диссертации изучено влияние мощности разряда и состава атмосферы на температуру электронов и концентрацию ионов в плазме и на температуру подложки. Разработаны режимы магнетронного распыления и последующего отжига для получения пленок оксинитридов титана с разной структурой и свойствами, что позволяет управлять фазовым составом, топографией и шероховатостью поверхности, химическим составом, шириной запрещенной зоны и смачиваемостью. Установлены закономерности и определены механизмы влияния легирования азотом и отжига на структуру и свойства пленок оксинитридов титана при разных удельных мощностях (2,7 и 5,4 Вт/см2). Разработан режим динамического напыления для достижения одновременно высокой доли рутила и высокой степени кристалличности, и разработан метод осаждения аморфных пленок оксинитридов титана за счет добавления аргона в реактивную атмосферу и подачи смещения на подложку. предложены модели фазового перехода из анатаза в рутил, сужения запрещенной зоны, изменения смачиваемости при разных удельных мощностях и аморфизации пленки оксинитридов титана при добавлении аргона и подачи смещения.
  Представленные в работе данные являются основой для разработки технологии формирования пленок оксинитридов титана и подготовленные пленки могут быть использованы в различных областях электроники, солнечной энергетики, фотокатализе и в качестве самоочищающейся пленки.
  Личный вклад соискателя состоит в участии при получении всех представленных результатов, подготовке образца, проведении и анализе экспериментальных результатов.
  Основные публикации:
  1. К.Е. Евдокимов, М.Е. Конищев, Чжилэй Сунь, В.Ф. Пичугин, Исследование плазмы реактивного магнетронного разряда в трехкомпонентной газовой среде зондовым методом // Приборы и техника эксперимента, 2016, № 6, С. 44-49.
  2. Zhilei Sun, K.E. Evdokimov, M.E. Konishchev, O.S. Kuzmin and V.F. Pichugin, Effect of post annealing on properties of N-doped TiO2 films deposited by reactive magnetron sputtering // Journal of Physics: Conf. Series 1281 (2019) 012083.
  3. Zhilei Sun, V.F. Pichugin, K.E. Evdokimov, M.E. Konishchev, M.S. Syrtanov, V.N. Kudiiarov, Ke Li, S.I. Tverdokhlebov, Effect of nitrogen-doping and post annealing on wettability and band gap energy of TiO2 thin film // Applied Surface Science 500 (2020) 144048.
chairman_dissertation_council.name: Валерий
chairman_dissertation_council.surname: Кривобоков
chairman_dissertation_council.patronymic: Павлович
chairman_dissertation_council.position: Руководитель НОЦ Б.П. Вейнберга
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: AAD-6184-2019
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 6603439351
chairman_dissertation_council.rinc_id: 20307
chairman_dissertation_council.url: https://portal.tpu.ru/SHARED/k/KRIVOBOKOV
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0003-0569-3291
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Андрей
organization_supervisor.surname: Яковлев
organization_supervisor.patronymic: Александрович
organization_supervisor.position: Врио ректора
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 29.19.31
rubrics.name: Полупроводники
rubrics.code: 29.19.04
rubrics.name: Структура твердых тел
rubrics.code: 29.19.16
rubrics.name: Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Физика конденсированного состояния
speciality_codes.code: 01.04.07
supervisors.fio: Пичугин Владимир Фёдорович
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика конденсированного состояния
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Клопотов Анатолий  Анатольевич
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика конденсированного состояния
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Михайлов Михаил Михайлович
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика конденсированного состояния
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ФГАОУ ВО НИ ТПУ, ТПУ, НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ, ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
protection_organization.ogrn: 1027000890168
protection_organization.supervisor_name: АНДРЕЙ
protection_organization.supervisor_surname: ЯКОВЛЕВ
protection_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: ФГАОУ ВО НИ ТПУ, ТПУ, НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ, ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
author_organization.ogrn: 1027000890168
author_organization.supervisor_name: АНДРЕЙ
author_organization.supervisor_surname: ЯКОВЛЕВ
author_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения