name: Формирование омических контактов к гетероструктурам на основе нитрида галлия
keyword_list: Омические контакты светодиод сопротивление морфология поверхности термическая обработка напыление вольт-амперная характеристика
abstract: Диссертация рассматривает основные вопросы поставленной научной задачи исследования процесса формирования омического контакта к гетероструктуре на основе AlGaN/GaN для использования в СВЧ транзисторах. В работе определен оптимальный диапазон температуры отжига с помощью расчетов свободной энергии Гиббса, исследовано влияние температуры отжига на процесс образования металлических соединений, исследовано влияние технологических режимов формирования на величину удельного переходного сопротивления омических контактов к AlGaN/GaN, а также исследована температурная стабильность контактов и влияние подслоя кремния в многослойной структуре омического контакта на удельное переходное сопротивление омических контактов к AlGaN/GaN, разработаны конструкционные и технологические принципы изготовления мощного СВЧ усилителя на основе гетероструктуры AlGaN/GaN.
chairman_dissertation_council.name: Вячеслав
chairman_dissertation_council.surname: Барбашов
chairman_dissertation_council.patronymic: Михайлович
chairman_dissertation_council.position: Профессор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: 0
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 0
chairman_dissertation_council.rinc_id: 269030
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0001-7136-415X
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Николай
organization_supervisor.surname: Каргин
organization_supervisor.patronymic: Иванович
organization_supervisor.position: Проректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.09.37
rubrics.name: Металлы, металлические сплавы для радиоэлектроники
rubrics.code: 47.09.29
rubrics.name: Полупроводниковые материалы
rubrics.code: 47.33.29
rubrics.name: Дискретные полупроводниковые приборы
oecds.code: 02.10.NS
oecds.name: NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
oecds.code: 02.05.QG
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
speciality_codes.name: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
speciality_codes.code: 05.27.01
supervisors.fio: Каргин Н.И.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Физическая химия
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Зубков В.И.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физическая химия
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Цацульников А.Ф.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Поляков А.Я.
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: НИЯУ МИФИ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЯДЕРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИФИ"
protection_organization.ogrn: 1037739366477
protection_organization.supervisor_name: МИХАИЛ
protection_organization.supervisor_surname: СТРИХАНОВ
protection_organization.supervisor_patronymic: НИКОЛАЕВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: НИЯУ МИФИ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЯДЕРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИФИ"
author_organization.ogrn: 1037739366477
author_organization.supervisor_name: МИХАИЛ
author_organization.supervisor_surname: СТРИХАНОВ
author_organization.supervisor_patronymic: НИКОЛАЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения