name: Электрофизические и сенсорные свойства полупроводниковых пленок PdO для селективного детектирования озона
keyword_list: сенсоры озона нестационарный термический режим резистивный отклик полупроводниковые сенсоры тонкие пленки PdO
abstract: Исследование пленок PdO в качестве полупроводникового материала, а в частности, сенсорного материала для детектирования озона представляет значительный научный интерес и прикладное значение.
  Цель работы: исследование особенностей электрофизических и сенсорных свойств тонких пленок PdO различной толщины и оптимизация технологии изготовления сенсоров на основе PdO для обеспечения возможности детектирования озона ниже уровня ПДК и повышения их селективности.
  В работе систематически изучен новый сенсорный материал PdO в части температурной зависимости его резистивного отклика на озон, установлен оптимальный диапазон температур (100-150 оС) обеспечивающий детектирование озона ниже уровня ПДК и кинетику резистивного отклика не хуже, чем у других лучших оксидных материалов,
  описанных в литературе. Обнаружено, что при работе PdO сенсоров в нестационарном термическом режиме (синусоидальное изменение температуры 50-300-50 оС) наблюдается характерная немонотонная особенность резистивного отклика, которая для другого газа окислителя NO2 имеет другую форму, что позволяет решать задачу селективного анализа озона в присутствии NO2. Установлена взаимосвязь между температурными режимами формирования чувствительных слоев сенсоров на основе PdO с их морфологией; установлено, что тонкие
  пленки PdO, полученные путем окисления слоев металлического Pd рекристаллизируются и фрагментируются при окислительном отжиге, что является причиной электрических шумов несплошных пленок PdO. Впервые определены температурные режимы окислительного отжига Pd и толщины слоев Pd, позволяющие изготавливать сенсоры озона на основе тонких пленок PdO без резистивных шумов.
  Результаты работы могут быть использованы для изготовления сенсоров озона и аналитических приборов на их основе с чувствительностью ниже ПДК для этого газа и повышенной селективностью к озону. Полученные данные по электрофизическим и оптическим свойствам полупроводниковых пленок PdO могут быть использованы в различных областях техники и технологии
chairman_dissertation_council.name: Владимир
chairman_dissertation_council.surname: Терехов
chairman_dissertation_council.patronymic: Андреевич
chairman_dissertation_council.position: профессор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: -
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 7005720877
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Дмитрий
organization_supervisor.surname: Ендовицкий
organization_supervisor.patronymic: Александрович
organization_supervisor.position: Ректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 29.19.16
rubrics.name: Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
rubrics.code: 29.19.31
rubrics.name: Полупроводники
oecds.code: 02.05.PM
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
oecds.code: 01.03.UI
oecds.name: PHYSICS, MULTIDISCIPLINARY
oecds.code: 01.03.UB
oecds.name: PHYSICS, APPLIED
speciality_codes.name: Физика полупроводников
speciality_codes.code: 01.04.10
supervisors.fio: Рябцев С.В.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика полупроводников
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Котов Г.И.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика полупроводников
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Чистяков В.В.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физическая химия
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ФГБОУ ВО "ВГУ"
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ВОРОНЕЖСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
protection_organization.ogrn: 1023601560510
protection_organization.supervisor_name: ДМИТРИЙ
protection_organization.supervisor_surname: ЕНДОВИЦКИЙ
protection_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ФГБОУ ВО "ВГУ"
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ВОРОНЕЖСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
author_organization.ogrn: 1023601560510
author_organization.supervisor_name: ДМИТРИЙ
author_organization.supervisor_surname: ЕНДОВИЦКИЙ
author_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения