name: Механические свойства изолирующих диэлектриков систем металлизации интегральных схем
keyword_list: периодические мезапористые органосиликаты пористые метил-модифицированные силикаты система металлизации интегральных микросхем модуль Юнга атомно-силовая микроскопия изолирующие диэлектрики с низкой диэлектрической проницаемостью
abstract: Диссертационная работа посвящена экспериментальному исследованию механических свойств изолирующих материалов с низкой диэлектрической проницаемостью, используемых в системе металлизации интегральных микросхем (ИС). Предложена новая методика оценки механических свойств пористых диэлектриков, основанная на методе атомно силовой микроскопии. Разработан способ оценки механических свойств и дефектности диэлектрика в составе системы металлизации ИС. Получены данные о температурной эволюции механических свойств периодических мезапористых органосиликатов, предлагаемых в качестве перспективных материалов для систем металлизации ИС.
chairman_dissertation_council.name: Александр
chairman_dissertation_council.surname: Сигов
chairman_dissertation_council.patronymic: Сергеевич
chairman_dissertation_council.position: Президент РТУ МИРЭА
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Академик
chairman_dissertation_council.wos_research_id: U-2545-2019
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 35557510600
chairman_dissertation_council.url: https://www.mirea.ru/science-and-innovation/dissertation-tips/dissertational-council-d-212-131-02/
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Николай
organization_supervisor.surname: Прокопов
organization_supervisor.patronymic: Иванович
organization_supervisor.position: Первый проректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.09.31
rubrics.name: Диэлектрические материалы
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
speciality_codes.name: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
speciality_codes.code: 05.27.06
supervisors.fio: Воротилов К.А.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Анкудинов А.В.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Приборы и методы экспериментальной физики
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Зотович А.И.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: РТУ МИРЭА
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МИРЭА - РОССИЙСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
protection_organization.ogrn: 1037739552740
protection_organization.supervisor_name: СТАНИСЛАВ
protection_organization.supervisor_surname: КУДЖ
protection_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСЕЕВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: РТУ МИРЭА
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МИРЭА - РОССИЙСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
author_organization.ogrn: 1037739552740
author_organization.supervisor_name: СТАНИСЛАВ
author_organization.supervisor_surname: КУДЖ
author_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСЕЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения