name: Оптические, электрические и структурные свойства тонких металлических пленок и их применение для создания высокоэффективных фотонных и плазмонных устройств
keyword_list: ТОНКИЕ ПЛЕНКИ, ПЛАЗМОННЫЙ РЕЗОНАНС, ПЛАЗМОННЫЙ ВОЛНОВОД, СЕНСОРНЫЙ ЧИП
abstract: Проведено детальное изучение структурных, электрических и оптических свойств тонких пленок золота и меди в диапазоне толщин 20 – 200 нм, получены оптические константы пленок в спектральном диапазоне 300 – 2000 нм. С возрастанием толщины в диапазоне 20 – 200 нм замечено нелинейное уменьшение оптических потерь и удельного электрического сопротивления. Измеренные оптические константы n и k используются для разработки и анализа характеристик плазмонных устройств, включающих тонкие пленки золота определенной толщины. Исследовано влияние структурной морфологии пленок 2 – 15 нм, близких к порогу перколяции, на оптические свойства. Продемонстрировано создание КМОП совместимых плазмонных волноводов на основе медной пленки. Созданы сенсорные чипы на основе тонкой медной пленки и защитных слоев SiO₂ и Al₂O₃. Показано, что медная пленка 25 нм, напылённая на графен, характеризуется низким плазмонным откликом. Исследованы оптические свойства пленок золота и меди на графене в диапазоне 300 – 3300 нм. Продемонстрировано, что увеличение скорости напыления позволяет добиться формирования сплошных медных пленок 25 нм на поверхности графена.
chairman_dissertation_council.surname: Шешин Е.П.
chairman_dissertation_council.position: зам. зав. кафедрой вакуумной электроники
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
organization_supervisor.surname: Кудрявцев Н. Н.
organization_supervisor.position: ректор
organization_supervisor.degree: Доктор физико-математических наук
rubrics.code: 29.19.04
rubrics.name: Структура твердых тел
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Физическая электроника
speciality_codes.code: 01.04.04
supervisors.fio: Арсенин А.В.
supervisors.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физическая электроника
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: нет
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: нет
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: МФТИ
protection_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Московский физико-технический институт (национальный исследовательский  университет)"
protection_organization.ogrn: 1027739386135
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: МФТИ
author_organization.name: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Московский физико-технический институт (национальный исследовательский  университет)"
author_organization.ogrn: 1027739386135
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения