name: Сублимационная кристаллизация функциональных слоев в микроразмерных ростовых ячейках
keyword_list: ПОЛУПРОВОДНИКИ, СУБЛИМАЦИЯ, КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ, КРЕМНИЙ, ГЕРМАНИЙ, ЭРБИЙ
abstract: Цель: исследование физических закономерностей сублимационной кристаллизации полупроводниковых и металлических слоев в условиях вакуумной микроячейки различной конфигурации и их свойств. Разработана имитационная модель массопереноса при сублимационной кристаллизации в ростовых ячейках произвольной конфигурации, учитывающая температуры источника и подложки, толщину вакуумной зоны, поперечные размеры зоны, коэффициенты сублимации и конденсации. Рассчитаны и экспериментально исследованы закономерности массопереноса в ростовых зонах различной геометрии: линейной, цилиндрической, с прямоугольным рельефом и дискретными источниками. Получены зависимости относительной скорости сублимационной кристаллизации и продольное распределение толщины слоя от линейных размеров ростовых микроячеек. Исследована температурная зависимость массопереноса при сублимационной кристаллизации, а также изучены краевые эффекты, обусловленные снижением температуры на границах ростовой зоны. Разработан лабораторный способ выращивания низкодефектных монокристаллических слоев кремния в плоскопараллельных вакуумных микроячейках. Предложена методика выращивания низкодефектных слоев германия на кремнии путем формирования направленных потоков из гексагонально упорядоченных ячеек, заполненных жидким германием при близком расстоянии источника и подложки. Продемонстрированы возможности равномерной металлизации внутренней поверхности полых тел цилиндрической формы, используя резистивно нагреваемые сублимирующиеся проволочные источники, изготовленные из тугоплавких металлов. Разработан комплексный двухстадийный способ выращивания слоев кремния, легированного эрбием, сочетающий сублимационную кристаллизацию с жидкофазной эпитаксией.
chairman_dissertation_council.surname: Бабешко В. А.
chairman_dissertation_council.position: заведующий кафедрой
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
organization_supervisor.surname: Астапов М. Б.
organization_supervisor.position: ректор
rubrics.code: 29.19.22
rubrics.name: Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
rubrics.code: 29.19.03
rubrics.name: Теория конденсированного состояния
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Физика конденсированного состояния
speciality_codes.code: 01.04.07
supervisors.fio: Чеботарев С.Н.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика конденсированного состояния
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Бавижев М.Д.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика атомного ядра и элементарных частиц
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Павленко А.В.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика конденсированного состояния
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ФГБОУ ВО «КубГУ», ФГБОУ ВО «Кубанский государственный университет»
protection_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Кубанский государственный университет»
protection_organization.ogrn: 1022301972516
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ЮРГПУ(НПИ) ФГБОУ ВО "ЮРГПУ(НПИ) ИМЕНИ М.И.ПЛАТОВА" ЮЖНОРОССИЙСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ (НПИ) ИМЕНИ М.И. ПЛАТОВА ФГБОУ ВО "ЮЖНО-РОССИЙСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ (НПИ) ИМЕНИ М.И. ПЛАТОВА"
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ЮЖНО-РОССИЙСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ (НПИ) ИМЕНИ М.И. ПЛАТОВА"
author_organization.ogrn: 1026102216030
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения