name: Повышение адгезии металлических покрытий на нитриде алюминия при нанесении магнетронной распылительной системой с горячей мишенью
keyword_list: нитрид алюминия энергетическая эффективность распыления термический испаритель магнетронная распылительная система с горячей мишенью Адгезионная прочность
abstract: В работе сделан аналитический обзор исследований в области металлизации керамики определить перспективные методы, пригодные для металлизации подложек, изготовленных из нитрида алюминия. Разработана лабораторная установка для отработки операции получения многослойных тонкопленочных покрытий в едином вакуумном цикле, разработан и введен в эксплуатацию стенд, позволяющий исследовать энергетические потоки, возникающие во время работы магнетронной распылительной системы с горячей мишенью. Разработана математическая модель, описывающая баланс тепловых потоков, возникающих в магнетронной распылительной системе при ее работе в режиме горячей мишени. Определены технологические режимы работы магнетронной распылительной системы, позволяющие повысить энергетическую эффективность процесса распыления с одновременным повышением адгезионной прочности, скорости нанесения покрытий по титану и адгезионной прочности не хуже 70 МПа при формировании двуслойных покрытий подслоя титана на подложках нитрида алюминия. Разработана методика, использующая полученную математическую модель для определения энергетической эффективности магнетронной распылительной системы, работающей в режиме горячей мишени.
chairman_dissertation_council.name: Юрий
chairman_dissertation_council.surname: Панфилов
chairman_dissertation_council.patronymic: Васильевич
chairman_dissertation_council.position: заведующий кафедрой
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: 0
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 6603626285
chairman_dissertation_council.rinc_id: 104387
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Борис
organization_supervisor.surname: Коробец
organization_supervisor.patronymic: Николаевич
organization_supervisor.position: первый проректор-проректор по научной работе и стратегическому развитию
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.13.33
rubrics.name: Электронно-ионноплазменные технологии электронного производства
rubrics.code: 47.13.11
rubrics.name: Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
oecds.code: 02.05.QG
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
speciality_codes.name: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
speciality_codes.code: 05.27.06
supervisors.fio: Колесник Леонид Леонидович
supervisors.scientific_degree: Кандидат технических наук
supervisors.speciality_code: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Васильева Татьяна Михайловна
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Физика плазмы
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Смоланов Николай Александрович
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика конденсированного состояния
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: МГТУ ИМ. Н.Э. БАУМАНА
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ Н.Э. БАУМАНА (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
protection_organization.ogrn: 1027739051779
protection_organization.supervisor_name: АНАТОЛИЙ
protection_organization.supervisor_surname: АЛЕКСАНДРОВ
protection_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: МГТУ ИМ. Н.Э. БАУМАНА
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ Н.Э. БАУМАНА (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
author_organization.ogrn: 1027739051779
author_organization.supervisor_name: АНАТОЛИЙ
author_organization.supervisor_surname: АЛЕКСАНДРОВ
author_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения