name: Особенности структуры и свойств приповерхностных слоев оптических материалов, модифицированных путем обработки в водородной плазме
keyword_list: Водородная плазма ниобат лития силикатное стекло водород дифракционная решетка оптический волновод
abstract: Рассмотрены вопросы влияния плазмохимической обработки в водородной плазме на структуру и свойства оптических материалов (ниобата лития, силикатных стекол) с целью определения применимости данного метода модификации для формирования базовых элементов интегрально-оптических схем. Метод плазмохимической модификации приповерхностных слоев потенциально обладает рядом существенных преимуществ перед традиционными способами «мокрой» химической обработки оптических материалов (в расплавах, смесях кислот и солей). Полученные результаты демонстрируют глубокие структурные изменения приповерхностных слоев оптических материалов, происходящие под влиянием низкоэнергетичных (до 100 эВ) компонентов водородной плазмы. Выявленные структурные изменения происходят в тонких (до 0,5 мкм) приповерхностных слоях. На основе полученных экспериментальных результатов разработан новый способ формирования функциональных элементов интегрально-оптических схем (дифракционных решеток), а также предложен способ улучшения характеристик интегрально-оптических схем путем обработки нерабочих областей чипов из ниобата лития в водородной плазме.
chairman_dissertation_council.name: Валерий
chairman_dissertation_council.surname: Яковлев
chairman_dissertation_council.patronymic: Петрович
chairman_dissertation_council.position: Профессор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: А-8961-2017
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 7201907570
chairman_dissertation_council.rinc_id: 33653
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0002-0606-0771
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Николай
organization_supervisor.surname: Каргин
organization_supervisor.patronymic: Иванович
organization_supervisor.position: И.О. Проректора
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 29.27.51
rubrics.name: Применение плазмы
rubrics.code: 29.19.04
rubrics.name: Структура твердых тел
rubrics.code: 29.19.33
rubrics.name: Диэлектрики
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Физика конденсированного состояния
speciality_codes.code: 01.04.07
supervisors.fio: Волынцев А.Б.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика конденсированного состояния
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Сидоров Н.В.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика конденсированного состояния
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Гынгазов С.А.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Физика конденсированного состояния
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Сюй А.В.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Оптика
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: НИЯУ МИФИ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЯДЕРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИФИ"
protection_organization.ogrn: 1037739366477
protection_organization.supervisor_name: ВЛАДИМИР
protection_organization.supervisor_surname: ШЕВЧЕНКО
protection_organization.supervisor_patronymic: ИГОРЕВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: ФГАОУ ВО "ПЕРМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ", ПГНИУ, ПЕРМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ, ПЕРМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, ПГУ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ПЕРМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
author_organization.ogrn: 1025900762150
author_organization.supervisor_name: ДМИТРИЙ
author_organization.supervisor_surname: КРАСИЛЬНИКОВ
author_organization.supervisor_patronymic: ГЕОРГИЕВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения