name: Микроэлектромеханический переключатель для сверхвысокочастотных широкополосных интегральных схем
keyword_list: МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ КЛЮЧ, СВЧ МОНОЛИТНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА, КОРПУСИРОВАНИЕ НА УРОВНЕ ПЛАСТИНЫ, ФОТОЛИТОГРАФИЯ
abstract: Представленная работа направлена на разработку и исследования микроэлектромеханического переключателя для сверхвысокочастотных широкополосных интегральных схем. В работе представлен расчет механических характеристик микроэлектромеханического (МЭМ) ключа, проведена оптимизация конструкции подвижного элемента. Проведен электромагнитный анализ конструкции МЭМ ключа в диапазоне частот до 40 ГГц, на основании которого спроектирован МЭМ ключ. Предложен и разработан метод корпусирования МЭМ ключа на основе каркасной системы. Проведена разработка технологии изготовления МЭМ ключа на GaAs подложке на основе технологии изготовления GaAs СВЧ монолитных интегральных схем. По разработанной технологии изготовлен СВЧ МЭМ ключ и аттенюатор на основе СВЧ МЭМ переключателя. Проведены измерения характеристик по постоянному току и СВЧ сигналу. Полученные характеристики показали, что разработанный СВЧ МЭМ ключ имеет параметры S11 и S21 в диапазоне частот до 20 ГГц, на уровне зарубежных аналогов, а в диапазоне выше 20 ГГц, превосходит аналоги.
chairman_dissertation_council.surname: Кориков А.М.
chairman_dissertation_council.position: профессор
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
organization_supervisor.surname: Лощилов А.Г.
organization_supervisor.position: проректор по НРиИ
organization_supervisor.degree: Кандидат технических наук
rubrics.code: 47.45.99
rubrics.name: Прочие элементы СВЧ-техники
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
speciality_codes.name: Антенны, СВЧ-устройства и их технологии
speciality_codes.code: 05.12.07
supervisors.fio: Троян П.Е.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Физическая электроника
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Разинкин В.П.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Антенны, СВЧ-устройства и их технологии
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Будяков А.С.
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ТУСУР
protection_organization.name: Федеральное государственное  бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники"
protection_organization.ogrn: 1027000867068
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ТУСУР
author_organization.name: Федеральное государственное  бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники"
author_organization.ogrn: 1027000867068
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения