name: Разработка и исследование методов и устройств локального контроля рельефно-фазовых оптических элементов и амплитудных решёток
keyword_list: дифракционная оптика дифракционные оптические элементы рельефно-фазовые оптические элементы оптико-электронные системы контроля дифракционная эффективность лазерно-индуцированные периодические поверхностные структуры
abstract: В работе описаны разработанные методы и созданные оптико-электронные системы, которые предназначены для осуществления локального бесконтактного контроля рельефно-фазовых оптических элементов и амплитудных решёток, в рамках выбранного технологического процесса их изготовления и с учётом особенностей микрорельефа исследуемых структур. 
  Для создания оптико-электронных устройств дифрактометрического контроля параметров дифракционных оптических элементов, предложены и экспериментально исследованы схемы видеорегистрации дифракционной картины, формирующейся на поверхности объёмных рассеивающих экранов в диапазонах угла дифракции не менее чем ±80° и азимутального угла 0°-360°. 
  Предложен дифрактометрический метод финишного контроля при изготовлении рельефно-фазовых оптических элементов (РОЭ), рассчитанных для работы в диапазоне длин волн дальнего ультрафиолета на пропускание, который позволяет осуществлять групповой контроль данных элементов не на расчётной длине волны, а с использованием доступного лазерного источника видимого диапазона. 
  Разработан метод поэтапного контроля РОЭ, изготавливаемых с использованием растровой полутоновой фотолитографии. Метод основан на формировании и анализе параметров встроенных тестовых структур с синусоидальной формой профиля.
  Разработан метод количественной оценки лазерно-индуцированных периодических поверхностных структур по анализу их микроизображений, который позволяет определять такие характеристики, как относительная площадь дефектов исследуемых структур, прямолинейность и параллельность дорожек в них, а также производительность записи, как функцию технологических параметров.
chairman_dissertation_council.name: Анатолий
chairman_dissertation_council.surname: Шалагин
chairman_dissertation_council.patronymic: Михайлович
chairman_dissertation_council.position: Научный руководитель Института
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Академик
chairman_dissertation_council.wos_research_id: -
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 7004011075
chairman_dissertation_council.rinc_id: 18224
chairman_dissertation_council.url: https://www.iae.nsk.su/ru/dissertation-council
chairman_dissertation_council.orcid: -
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Сергей
organization_supervisor.surname: Бабин
organization_supervisor.patronymic: Алексеевич
organization_supervisor.position: Директор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 59.45.37
rubrics.name: Приборы для неразрушающего контроля изделий и материалов оптическим методом
rubrics.code: 29.31.15
rubrics.name: Излучение и волновая оптика
rubrics.code: 29.31.27
rubrics.name: Взаимодействие оптического излучения с веществом
rubrics.code: 29.31.29
rubrics.name: Формирование оптического изображения. Оптические приборы и оптические методы измерений
oecds.code: 02.11.OA
oecds.name: INSTRUMENTS & INSTRUMENTATION
oecds.code: 02.05.QF
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, CHARACTERIZATION & TESTING
oecds.code: 02.11.RA
oecds.name: MICROSCOPY
oecds.code: 01.03.SY
oecds.name: OPTICS
speciality_codes.name: Оптика
speciality_codes.code: 01.04.05
supervisors.fio: Корольков В. П.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Оптика
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Одиноков С. Б.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Завьялов П. С.
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ИАиЭ СО РАН
protection_organization.name: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук
protection_organization.ogrn: 1025403647807
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ИАиЭ СО РАН
author_organization.name: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук
author_organization.ogrn: 1025403647807
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения