name: Развитие физико-химических принципов оценки влияния поверхностной энергии на свойства материалов и процессы для технологии микроэлектроники
keyword_list: технология микроэлектроника поверхностная энергия работа выхода кристаллическая структура
abstract: Объект исследования – влияние поверхности на физико-химические свойства материалов и технологические процессы микроэлектроники.
  Цель диссертационной работы заключалась в развитии физико-химических принципов оценки влияния удельной поверхностной энергии на свойства кристаллических материалов, в частности, на химическую активность, каталитическую активность, работу выхода электрона, величину адгезии, температуру плавления нанокристаллов, температуру поверхностного плавления монокристаллов и учёта такого влияния в технологических процессах микроэлектроники.
  Теоретические и практические результаты и их новизна: - разработаны новые процессы обработки поверхности материалов для технологии микроэлектроники: криогенной очистки поверхности кремневых пластин, высокоселективного фотолитического травления материалов, высокотемпературной стабилизации размеров и профиля низкоплавких фоторезистивных масок; - разработана научная концепция связи удельной поверхностной энергии с координационным окружением атомов в кристаллической структуре гомодесмических кристаллов элементарных веществ; - разработана оригинальная модель для расчета удельной поверхностной энергии кристаллов по их основным физическим свойствам и параметрам кристаллической структуры, связавшая анизотропию удельной поверхностной энергии кристалла с анизотропией других свойств поверхности; - на основании сопоставления расчетов удельной поверхностной энергии по разработанной модели с накопленными экспериментальными результатами и расчетами по другим моделям доказана правомерность данного подхода, расширяющего границы применимости полученных результатов к проблематике диссертации с получением обладающих новизной результатов.
  Значение полученных соискателем результатов исследования для практики подтверждается тем, что: - разработан и запатентован способ криогенной очистки кремниевых пластин от органических примесей и механических частиц, позволяющий исключить операцию жидкостной очистки поверхности, там, где она не желательна; - разработан и запатентован способ фотолитического травления слоёв Si и Si02 под воздействием вакуумного ультрафиолетового излучения, позволяющий проводить прецизионное высокоселективное травление поверхностного слоя; - разработан и внедрен в производство изготовления СБИС на кристальном производстве ПАО «Микрон» технологический процесс высокотемпературной стабилизации свойств низкоплавких фоторезистивных масок.
chairman_dissertation_council.name: Сергей
chairman_dissertation_council.surname: Гаврилов
chairman_dissertation_council.patronymic: Александрович
chairman_dissertation_council.position: Проректор по НР
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: A-8266-2014
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 7102677239
chairman_dissertation_council.rinc_id: 37731
chairman_dissertation_council.url: https://miet.ru/person/3889
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0002-2967-272X
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Владимир
organization_supervisor.surname: Беспалов
organization_supervisor.patronymic: Александрович
organization_supervisor.position: ректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.13.11
rubrics.name: Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
rubrics.code: 31.15.25
rubrics.name: Химическая термодинамика. Термохимия. Равновесия. Физико-химический анализ, фазовые переходы
rubrics.code: 29.19.11
rubrics.name: Дефекты кристаллической структуры
oecds.code: 02.05.QG
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
speciality_codes.name: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
speciality_codes.code: 05.27.06
supervisors.fio: Красников Г.Я.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Андреева А.В.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика конденсированного состояния
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Быков В.А.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Слепцов В.В.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИЭТ"; НИУ МИЭТ;МИЭТ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
protection_organization.ogrn: 1027739615584
protection_organization.supervisor_name: ВЛАДИМИР
protection_organization.supervisor_surname: БЕСПАЛОВ
protection_organization.supervisor_patronymic: АЛЕКСАНДРОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные автономные учреждения
author_organization.short_name: АО "НИИМЭ"
author_organization.name: Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники"
author_organization.ogrn: 1117746568829
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
author_organization.okopf: Акционерные общества