name: Выращивание монокристаллов с использованием погруженного ОТФ-нагревателя в строго контролируемых тепловых условиях
keyword_list: ВЫРАЩИВАНИЕ КРИСТАЛЛОВ ИЗ РАСПЛАВА, ПОГРУЖЕННЫЙ НАГРЕВАТЕЛЬ, ТЕПЛО – И МАССОПЕРЕНОС, ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ВЕЩЕСТВ, ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ, РОСТОВАЯ АППАРАТУРА, МОДИФИЦИРОВАННЫЕ МЕТОДЫ БРИДЖМЕНА И ПЛАВАЮЩЕЙ ЗОНЫ, ПОЛУПРОВОДНИКИ И ДИЭЛЕКТРИКИ,  МИКРО – И МАКРООДНОРОДНОСТЬ.
abstract: Цель: разработка метода выращивания кристаллов из расплава в осевом тепловом потоке вблизи фронта кристаллизации (ОТФ-метода), в основе которого лежит использование погруженного в расплав нагревателя, находящегося на небольшом расстоянии от растущего кристалла. Рост из тонкого слоя расплава принципиально меняет характер конвекции вблизи фронта кристаллизации, которая становится слабой и ламинарной. Проведенный численными методами анализ кристаллизации позволил выявить геометрические пределы слоя, для которого конвекцией можно пренебречь при учете переноса тепла, а перенос массы оценивать с помощью соотношения Тиллера в диффузионном приближении. Разработаны методики измерения коэффициента теплопроводности в твердом и жидком состояниях в широком диапазоне температур и вблизи точки плавления, а также коэффициента диффузии и равновесного коэффициента сегрегации. Описаны разработанные конструкции установок для выращивания монокристаллов методом ОТФ на воздухе, в защитной атмосфере и насыщенных парах до давления 150 атм. Рассмотрены подходы к построению автоматической системы управления режимом кристаллизации и ее настройкой, обеспечивающие точность регулирования температуры в пределах погрешности измерительного канала. Получены образцы монокристаллов полупроводников и диэлектриков. На примере роста мульти- и монокристаллического кремния показано улучшение качества материала по мере снижения интенсивности конвекции вблизи растущего кристалла. Показано, что модифицированный метод плавающей зоны позволяет получить кремний солнечного качества, не уступающий по своим характеристикам кремнию, полученному стандартным методом, но по сравнению с ним не имеет ограничений по сечению монокристалла.
chairman_dissertation_council.surname: Сигов А. С.
chairman_dissertation_council.position: Президент РТУ МИРЭА
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
organization_supervisor.surname: Кудж С. А.
organization_supervisor.position: Ректор РТУ МИРЭА
organization_supervisor.degree: Доктор технических наук
rubrics.code: 30.17.35
rubrics.name: Тепломассоперенос
rubrics.code: 31.15.17
rubrics.name: Кристаллохимия и кристаллография
rubrics.code: 90.27.32
rubrics.name: Теплофизические и температурные измерения
oecds.code: 02.05.PM
oecds.name: MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
oecds.code: 01.04.FI
oecds.name: CRYSTALLOGRAPHY
speciality_codes.name: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
speciality_codes.code: 05.27.06
supervisors.fio: Мишина Е.Д.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Аветисов И.Х.
opponents.scientific_degree: Доктор химических наук
opponents.speciality_code: Технология неорганических веществ
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Кульчицкий Н.А.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: РТУ МИРЭА
protection_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «МИРЭА – Российский технологический университет»
protection_organization.ogrn: 1037739552740
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ЦМ "ФОТОН"
author_organization.name: Общество с ограниченной ответственностью "Центр материаловедения "Фотон"
author_organization.ogrn: 1103339001611
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
author_organization.okopf: Общества с ограниченной ответственностью