name: СИНТЕЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК КАРБИДА КРЕМНИЯ НА КРЕМНИИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МЕТОДА МОЛЕКУЛЯРНОГО НАСЛАИВАНИЯ
keyword_list: Керамические нанопокрытия Пиролиз Пленки Полиамиды Молекулярное наслаивание Кремний Карбид кремния
abstract: Разработан процесс получения конформных нанопокрытий карбида кремния на поверхности монокристаллического кремния, основанный на предварительном синтезе полиамидных пленок на указанной подложке методом молекулярного наслаивания с использованием тримезоилхлорида и 1,2-этилендиамина при температуре 120 оС. Последующий пиролиз полимерных пленок при 1300С в вакууме приводит к формированию нанопокрытий SiC. Установлены предпочтительные толщины пленок полиамида, обеспечивающие, в результате карбонизации полимера, получение керамического покрытия без избыточного углерода. Доказана взаимосвязь линейных зависимостей толщины полимерных и керамических покрытий от числа циклов молекулярного наслаивания.
chairman_dissertation_council.name: Анатолий
chairman_dissertation_council.surname: Малыгин
chairman_dissertation_council.patronymic: Алексеевич
chairman_dissertation_council.position: Заведующий кафедрой
chairman_dissertation_council.degree: Доктор химических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: F-3350-2013
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 7103110938
chairman_dissertation_council.rinc_id: 44744
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0002-1818-7761
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Андрей
organization_supervisor.surname: Шевчик
organization_supervisor.patronymic: Павлович
organization_supervisor.position: Ректор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 47.13.07
rubrics.name: Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
rubrics.code: 47.09.48
rubrics.name: Наноматериалы для электроники
oecds.code: 02.10.NS
oecds.name: NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
speciality_codes.name: Химия твердого тела
speciality_codes.code: 1.4.15.
supervisors.fio: Абдулагатов И.М.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Теплофизика и теоретическая теплотехника
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Кукушкин С.А.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика конденсированного состояния
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Максимов М.Ю.
opponents.scientific_degree: Кандидат технических наук
opponents.speciality_code: Порошковая металлургия и композиционные материалы
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ (ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ),СПБГТИ(ТУ)
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ (ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
protection_organization.ogrn: 1027810258761
protection_organization.supervisor_name: АНДРЕЙ
protection_organization.supervisor_surname: ШЕВЧИК
protection_organization.supervisor_patronymic: ПАВЛОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ДГУ
author_organization.name: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Дагестанский государственный университет"
author_organization.ogrn: 1020502631621
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения