name: ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫЙ КОМПЛЕКС АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ВИЗУАЛЬНОГО КОНТРОЛЯ ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ МОНОЛИТНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
keyword_list: ДЕФЕКТЫ ТЕХНОЛОГИИ МИС ВИЗУАЛЬНЫЙ КОНТРОЛЬ ДЕФЕКТОСКОПИЯ АВТОМАТИЗАЦИЯ
abstract: Диссертационная работа посвящена автоматизации визуального контроля. 
  Разработан алгоритм автоматизированного визуального контроля и программное обеспечение: точность визуального контроля до 98%, ускорение до 28 раз. Новизна заключается в критерии повторяемости геометрического расположения при выборе точек совмещения и комбинации классификатора на основе искусственной нейронной сети и метода вычисления пиксельного расстояния. Разработана установка автоматизированного визуального контроля и полуавтоматическая зондовая станция. Станция оснащена аппаратно-программной системой температурной компенсации уровня контакта.
  Работа выполнена в ФГБОУ ВО «ТУСУР» и АО «НИИПП» г. Томск.
  Научный руководитель: Шурыгин Ю.А. д.т.н., профессор. 
  Официальные оппоненты: Горюнов А.Г. д.т.н., зав. каф., ФГАОУ ВО НИ ТПУ; Титов В.С. д.т.н., профессор, ФГБОУ ВО «ЮЗГУ».
  Ведущая организация: ФГБОУ ВО «НГТУ».
  Основные результаты изложены в 17 печатных изданиях, основные из них:
  Ширяев Б.В., Ющенко А.Ю., Безрук А.В. Алгоритм автоматизированного визуального контроля монолитных интегральных схем с использованием искусственных нейронных сетей // Доклады ТУСУР. 2019. Т. 22, № 2. С. 72-76.
  Шурыгин Ю.А., Ишуткин С.В., Ширяев Б.В., Жидик Ю.С. Изготовление электрооптических модуляторов на основе InP для ВОЛС и проведение автоматизированного визуального контроля их поверхности на предмет наличия дефектов // Доклады ТУСУР. 2022. T. 25, № 3.
  Ширяев Б.В., Аргунов Д.П. Повышение эффективности алгоритма автоматизированного визуального контроля монолитных интегральных схем // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2022. № 4. С. 56-62.
chairman_dissertation_council.name: Юрий
chairman_dissertation_council.surname: Шурыгин
chairman_dissertation_council.patronymic: Алексеевич
chairman_dissertation_council.position: Директор департамента управления и стратегического развития
chairman_dissertation_council.degree: Доктор технических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: AAC-2607-2020
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 57188852839
chairman_dissertation_council.rinc_id: 547134
chairman_dissertation_council.orcid: 0000-0001-8819-0694
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Ольга
organization_supervisor.surname: Аркатова
organization_supervisor.patronymic: Евгеньевна
organization_supervisor.position: Начальник ОМКиИС
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 59.45.37
rubrics.name: Приборы для неразрушающего контроля изделий и материалов оптическим методом
rubrics.code: 50.47.31
rubrics.name: Автоматизированные системы управления дискретными технологическими процессами
rubrics.code: 47.33.31
rubrics.name: Интегральные микросхемы
oecds.code: 02.02.IQ
oecds.name: ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
oecds.code: 02.02.AC
oecds.name: AUTOMATION & CONTROL SYSTEMS
speciality_codes.name: Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами
speciality_codes.code: 2.3.3.
supervisors.fio: Шурыгин Ю.А.
supervisors.scientific_degree: Доктор технических наук
supervisors.speciality_code: Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Горюнов А.Г.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Титов В.С.
opponents.scientific_degree: Доктор технических наук
opponents.speciality_code: Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ТУСУР, ФГБОУ ВО "ТУСУР", ФГБОУ ВО "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ", ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ"
protection_organization.ogrn: 1027000867068
protection_organization.supervisor_name: ВИКТОР
protection_organization.supervisor_surname: РУЛЕВСКИЙ
protection_organization.supervisor_patronymic: МИХАЙЛОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ТУСУР, ФГБОУ ВО "ТУСУР", ФГБОУ ВО "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ", ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ"
author_organization.ogrn: 1027000867068
author_organization.supervisor_name: ВИКТОР
author_organization.supervisor_surname: РУЛЕВСКИЙ
author_organization.supervisor_patronymic: МИХАЙЛОВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения