name: ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ И РЕКОМБИНАЦИОННЫЕ СВОЙСТВА ДЕФЕКТОВ В КРЕМНИИ, ИМПЛАНТИРОВАННОМ ИОНАМИ КИСЛОРОДА
keyword_list: кислородный преципитат кремний
abstract: Диссертация посвящена исследованию свойств дефектов образующихся при высокотемпературных отжигах кремния, имплантированного ионами кислорода с энергиями/дозами 350 кэВ /1,5∙1015см-2; 225 кэВ /0,9∙1015см-2; 150 кэВ /0,7∙1015см-2 соответственно. Первая часть работы посвящена исследованию влияния многостадийной термообработки при температурах/ длительностях 1000 ºC /15 мин; 650 ºC /7 часов; 800 ºC /4 часа; 1000 ºC /6 часов на состав и свойства образуемых дефектов. Было показано, что при указанных термообработках на глубине 800 нм происходит формирование слоя кислородных преципитатов размерами порядка 50 нм. Данный слой оказался пространственно отделён от других структурных дефектов, что позволило установить характерные свойства кислородных преципитатов. Вторая часть работы посвящена изучению влияния температуры получасового отжига на состав и свойства образованных дефектов, в особенности кислородных преципитатов. Прямыми измерениями было показано, что кислородные преципитаты обладают встроенным положительным зарядом. Обнаружено, что интегральная величина положительного заряда кислородных преципитатов уменьшается с увеличением их среднего радиуса при росте температуры отжига от 800 ºС до 1100 ºС. На основании полученных данных сделан вывод о локализации заряда на оболочках кислородных преципитатов.
chairman_dissertation_council.name: Роберт
chairman_dissertation_council.surname: Сурис
chairman_dissertation_council.patronymic: Арнольдович
chairman_dissertation_council.position: главный научный сотрудник
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Академик
chairman_dissertation_council.wos_research_id: Е-5908-2010
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 7005301564
chairman_dissertation_council.rinc_id: 339
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Сергей
organization_supervisor.surname: Иванов
organization_supervisor.patronymic: Викторович
organization_supervisor.position: Директор
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 29.19.11
rubrics.name: Дефекты кристаллической структуры
rubrics.code: 29.19.31
rubrics.name: Полупроводники
rubrics.code: 29.19.24
rubrics.name: Электронная структура твердых тел
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Физика полупроводников
speciality_codes.code: 1.3.11.
supervisors.fio: Вывенко О.Ф.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика конденсированного состояния
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Кведер В.В.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика конденсированного состояния
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Заморянская М.В.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика конденсированного состояния
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ФТИ ИМ. А.Ф. ИОФФЕ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. А.Ф. ИОФФЕ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
protection_organization.ogrn: 1037804006998
protection_organization.supervisor_name: СЕРГЕЙ
protection_organization.supervisor_surname: ИВАНОВ
protection_organization.supervisor_patronymic: ВИКТОРОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИЛИ СПБГУ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
author_organization.ogrn: 1037800006089
author_organization.supervisor_name: НИКОЛАЙ
author_organization.supervisor_surname: КРОПАЧЕВ
author_organization.supervisor_patronymic: МИХАЙЛОВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Правительство Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения