name: Люминесценция многослойных диэлектрических структур на поверхности кремния
keyword_list: Спектральное распределение Электронная структура Кремний Пентоксид тантала Диоксид кремния Фотолюминесценция Катодолюминесценция Электролюминесценция Люминесцентные методы
abstract: Актуальность темы исследования. Физические свойства слоистых структур оказывают влияние на функциональность и отказоустойчивость микроэлектронных приборов, поэтому последнее время особое внимание уделяется разработке методов диагностики слоистых структур. Несомненный интерес вызывают люминесцентные методы диагностики и исследования. Такие методы позволяют не только получать информацию об активных центрах структуры (как собственных, так и наведенных), но и помогают исследовать электронные процессы в структурах кремний-диэлектрик.
  Научная новизна. Основная цель настоящей диссертационной работы заключается в разработке метода исследования области межфазовой границы диэлектрик-­диэлектрик для структур со слоистым диэлектриком на основе кремния.
chairman_dissertation_council.name: Олег
chairman_dissertation_council.surname: Вывенко
chairman_dissertation_council.patronymic: Федорович
chairman_dissertation_council.position: Проф. каф. электроники твердого тела
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
chairman_dissertation_council.rank: Профессор
chairman_dissertation_council.wos_research_id: I-6539-2013
chairman_dissertation_council.scopus_author_id: 6701401001
chairman_dissertation_council.rinc_id: 28099
chairman_dissertation_council.territory: РОССИЯ
organization_supervisor.name: Александр
organization_supervisor.surname: Гнетов
organization_supervisor.patronymic: Валентинович
organization_supervisor.position: Ученый секретарь СПбГУ
organization_supervisor.territory: РОССИЯ
rubrics.code: 29.19.16
rubrics.name: Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
rubrics.code: 29.19.04
rubrics.name: Структура твердых тел
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
oecds.code: 01.03.UF
oecds.name: PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
speciality_codes.name: Физика полупроводников
speciality_codes.code: 01.04.10
supervisors.fio: Барабан А.П.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика полупроводников
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
protection_organization.short_name: САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИЛИ СПБГУ
protection_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
protection_organization.ogrn: 1037800006089
protection_organization.supervisor_name: НИКОЛАЙ
protection_organization.supervisor_surname: КРОПАЧЕВ
protection_organization.supervisor_patronymic: МИХАЙЛОВИЧ
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Правительство Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИЛИ СПБГУ
author_organization.name: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
author_organization.ogrn: 1037800006089
author_organization.supervisor_name: НИКОЛАЙ
author_organization.supervisor_surname: КРОПАЧЕВ
author_organization.supervisor_patronymic: МИХАЙЛОВИЧ
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Правительство Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения