name: Исследование механизмов формирования магнетронных наноразмерных пленок из алюминия на поверхности ситалла
keyword_list: Магнетронное распыление, магнетронные металлические нанопленки, aBI NITIO, компьютерное моделирование, Энергия адгезии, Кластеры, сИТАЛЛ, Алюминия, рост пленки, Плотность электронных состояний,  SiO2-кристобалита
abstract: Объект исследования: магнетронные металлические нанопленки алюминия Al, нанесённых на поверхность ситалла. Метод исследования: экспериментальное и теоретическое исследование (расчет из первых принципов). Предложены результаты наноразмерных исследований серии образцов алюминиевых нанопленок, наносимых при постоянной мощности с разными длительностями напыления методом магнетронного распыления на подложке из ситалла, полученные методами атомно-силовой микроскопии (АСМ). Изложены и проанализированы результаты расчетов адгезии кластеров алюминии AlN (N=1-5) на поверхностях (100), (110) и (111) монокристаллического алюминия, а также проведен анализ расчетов начальных этапов роста и дальнейшего формирования пленки алюминия на поверхности SiO2-кристобалита (модель ситалла) при осаждении методом магнетронного распыления.
chairman_dissertation_council.surname: Кузьменко А..П.
chairman_dissertation_council.position: Директор Регионального центра нанотехнологий
chairman_dissertation_council.degree: Доктор физико-математических наук
organization_supervisor.surname: Емельянов С.Г.
organization_supervisor.position: Ректор
organization_supervisor.degree: Доктор технических наук
rubrics.code: 29.19.22
rubrics.name: Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
oecds.code: 01.03.UK
oecds.name: PHYSICS, CONDENSED MATTER
speciality_codes.name: Физика конденсированного состояния
speciality_codes.code: 01.04.07
supervisors.fio: Заводинский В.Г.
supervisors.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
supervisors.speciality_code: Физика конденсированного состояния
supervisors.responsible_type: Научный руководитель
opponents.fio: Вахрушев А.В.
opponents.scientific_degree: Доктор физико-математических наук
opponents.speciality_code: Механика деформируемого твердого тела
opponents.responsible_type: Оппонент
opponents.fio: Коротковский В.И.
opponents.scientific_degree: Кандидат физико-математических наук
opponents.speciality_code: Физика конденсированного состояния
opponents.responsible_type: Оппонент
protection_organization.short_name: ЮЗГУ
protection_organization.name: федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Юго-Западный государственный университет"
protection_organization.ogrn: 1034637015786
protection_organization.organization_type: Организация
protection_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
protection_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения
author_organization.short_name: ЮЗГУ
author_organization.name: федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Юго-Западный государственный университет"
author_organization.ogrn: 1034637015786
author_organization.organization_type: Организация
author_organization.okogu: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
author_organization.okopf: Федеральные государственные бюджетные учреждения